판매용 중고 OXFORD PlasmaPro 800 Plus #293623327

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ID: 293623327
PECVD System.
OXFORD PlasmaPro 800 Plus etcher 및 asher는 고급 포토 마스크 제작 기술에 사용되는 주요 도구 중 하나입니다. 반도체 재료에서 복잡한 패턴을 만드는 데 필요한 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공합니다. 이 장비는 고급 플라즈마 (Plasma) 기술을 활용하여 매우 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 고급 자동 프로세스 제어 (Automated Process Control) 는 안정적이고 반복 가능한 에칭 및 애싱 (Ashing) 결과를 보장하며, 매우 상세한 패턴과 기능을 제작할 수 있습니다. 또한 독립 가스 흐름 제어 (Independent Gas Flow Control) 를 통해 여러 프로세스를 단일 사이클로 결합 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 자원을 보다 효율적으로 사용하고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 고도로 구성 가능하고 프로그래밍 가능한 장치는 최신 포토 마스크 (photomask) 제작 기술의 과제를 해결하는 데 필요한 유연성을 제공합니다. 기계 는 여러 가지 "웨이퍼 '모양 과 크기, 그리고 각기 다른 기판 재료 를 수용 할 수 있다. 이 도구는 또한 매우 정밀한 처리를 위해 기판 정렬 및 에지 제어 기능을 제공합니다. 지능형 프로세스 제어 및 모니터링 자산 덕분에 PlasmaPro 800 Plus etcher 및 asher의 환경 안전이 보장됩니다. 이 모델은 프로세스의 매개변수 (parameter) 와 조건을 모니터링하여 지역 환경 규정에 의해 설정된 요구사항 내에 배출 (emission) 수준이 유지되도록 합니다. OXFORD PlasmaPro 800 Plus etcher 및 asher는 photomask 제조 생산을 위해 설계된 고급, 비용 효과적이며 구성 가능한 장비입니다. 안정적이고 반복 가능한 결과, 복잡한 패턴화를 위한 높은 정확성, 그리고 친환경적인 운영을 보장하는 안전 시스템 (Safety System) 을 제공하도록 설계되었습니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 모양, 크기, 재료를 수용하는 데 필요한 유연성을 제공하여 현대적인 포토 마스크 제작 기술에 유용한 도구입니다.
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