판매용 중고 OXFORD PlasmaPro 100 #293807691

OXFORD PlasmaPro 100은 OXFORD Instruments Plasma Technology에서 개발 한 고성능 플라즈마 에처 및 애셔 장비입니다. 이 고급 도구는 반도체, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), 광전자 및 기타 관련 산업의 생산 환경뿐만 아니라, 연구 개발의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 설계되었습니다. PlasmaPro 100 (PlasmaPro 100) 은 정확한 플라즈마 처리를 위해 다양한 플랫폼을 제공하여 다양한 기판에서 우수한 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. 옥스포드 플라스마 프로 100 (OXFORD PlasmaPro 100) 은 균일 한 플라즈마 분배와 효율적인 가스 활용을 제공하여 일관되고 재현 가능한 처리 결과를 제공합니다. 이 시스템에는 고급 플라즈마 소스와 제어 메커니즘이 장착되어 있어 가스 유량, RF 전력, 압력, 온도 등 프로세스 매개변수를 정확하게 튜닝 할 수 있습니다. 이 제어 수준 (level of control) 을 통해 사용자는 플라즈마 화학과 에너지를 조정하여 특정 응용 프로그램의 프로세스 성능을 최적화 할 수 있습니다. PlasmaPro 100의 주요 특징 중 하나는 반도체 웨이퍼, 유리, 금속, 폴리머 등 다양한 유형의 기판을 처리하는 유연성입니다. 이 장치는 다양한 샘플 유형 및 크기를 수용할 수 있는 사용자 정의 가능한 기판 처리 옵션 (예: 웨이퍼 크기, 척 유형, 온도 조절) 을 제공합니다. 이러한 다양성으로 인해 OXFORD PlasmaPro 100은 연구 실험실, 파일럿 생산 라인 및 본격적인 제조 시설에 적합합니다. PlasmaPro 100에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 지원하는 다양한 가스 전달 시스템이 장착되어 있습니다. 사용자는 염소, 플루오린, 산소, 아르곤 등 다양한 공정 가스 중에서 선택하여 원하는 에치 선택성, 이방성 (anisotropy) 및 프로파일 제어를 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 빠른 챔버 대피 및 프로세스 압력의 정확한 제어, 프로세스 반복성 및 신뢰성 향상을위한 고효율 펌프 툴 (Pump Tool) 을 포함합니다. 업계 표준을 안전하게 준수하기 위해 OXFORD PlasmaPro 100은 강력한 연동 시스템, 가스 누출 감지 메커니즘, 긴급 종료 (emergency shutdown) 기능을 갖추고 있습니다. 이 자산은 직관적인 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공하는, 사용자에게 친숙한 소프트웨어 인터페이스로 설계되었습니다. 운영자는 프로세스 레시피를 쉽게 설정하고, 실시간 프로세스 데이터를 모니터링하고, 결과를 분석하여 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. 고급 처리 기능 외에도 PlasmaPro 100은 유지 보수 및 서비스 용이성을 위해 설계되었습니다. 이 모델은 진단 툴과 원격 모니터링 기능을 통합하여 사전 예방 유지 관리 스케줄링 및 문제 해결을 지원합니다. OXFORD Instruments는 포괄적인 기술 지원, 교육 프로그램, 애플리케이션 지원을 제공하여 사용자가 OXFORD PlasmaPro 100 시스템의 성능과 수명을 극대화할 수 있도록 지원합니다. 전체적으로 PlasmaPro 100은 최첨단 플라즈마 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비로, 반도체 및 관련 산업의 진화하는 요구를 충족시키는 정밀성, 다양성 및 신뢰성을 결합합니다. 옥스포드 플라즈마 프로 100 (OXFORD PlasmaPro 100) 은 고급 챔버 디자인, 사용자 정의 가능한 기판 처리 옵션, 정확한 프로세스 제어 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 플라즈마 처리 기술의 새로운 표준을 설정하고 사용자에게 리서치 및 프로덕션 응용 프로그램의 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.