판매용 중고 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293830475

OXFORD PlasmaPro 100 Cobra는 반도체 제조, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 제조 및 연구 응용을 위해 설계된 고급 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 다용도 (versatile) 툴에는 다양한 기능과 기능이 장착되어 있어 다양한 재료에 대한 정확하고 제어된 플라즈마 (Plasma) 처리가 가능합니다. PlasmaPro 100 Cobra는 에칭, 애싱, 증착, 청소 등 다양한 플라즈마 처리 모드를 제공하는 고성능 도구입니다. 이 시스템은 산소, 플루오린 기반 가스, 기타 반응성 가스 (reactive gase) 와 같은 다양한 공정 가스를 처리 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 플라즈마 화학을 조정하여 원하는 물질 제거 또는 수정을 달성 할 수 있습니다. OXFORD PlasmaPro 100 Cobra의 주요 기능 중 하나는 고급 플라즈마 소스 기술입니다. 이 장치에는 공정 챔버 전체에서 효율적이고 균일 한 플라즈마 생성을 가능하게하는 고밀도 플라즈마 소스 (plasma source) 가 장착되어 있습니다. 즉, 일관되고 안정적인 프로세스 결과를 얻어 높은 프로세스 반복성과 제어를 보장합니다. PlasmaPro 100 Cobra는 RF 전원 제어, 가스 흐름 제어, 압력 제어, 온도 조절 등 다양한 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. 사용자는 프로세스 매개 변수를 최적화하여 특정 장치 구조에 대한 원하는 에치 속도 (etch rate), 선택성 (selectivity) 및 프로파일 제어 (profile control) 를 달성할 수 있습니다. 이 기계에는 단일 웨이퍼 처리 (single wafer processing) 또는 배치 처리 (batch processing) 옵션이 포함된 구성 가능한 프로세스 챔버가 있습니다. 웨이퍼 척 (wafer chuck) 설계는 안전한 웨이퍼 클램핑 (wafer clamping) 과 처리 중 효율적인 열 전달을 가능하게하여 웨이퍼 표면에서 균일 한 처리를 보장합니다. 옥스포드 플라스마 프로 100 코브라 (OXFORD PlasmaPro 100 Cobra) 에는 프로세스 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 제어 할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. 사용자는 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 프로세스 시퀀스를 정의하고, 프로세스 매개변수를 설정하고, 실시간 프로세스 데이터를 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 가스누출 감지 (gas leak detection), 과압 방지 (overpressure protection) 및 인터 록 (interlock) 과 같은 안전 기능으로 설계되어 운영 중 사용자의 안전을 보장합니다. PlasmaPro 100 Cobra에는 빠른 펌프 다운 및 안정적인 프로세스 조건을 가능하게하는 강력한 진공 자산이 있습니다. OXFORD PlasmaPro 100 Cobra 는 매우 안정적이고 비용 효율적인 툴로서 TCO (총소유비용) 를 절감하고 유지 보수 비용을 최소화합니다. 이 모델은 높은 처리량과 생산성 (productivity) 을 제공하도록 설계되어 연구 및 생산 환경 모두에 적합합니다. 결론적으로 PlasmaPro 100 Cobra는 최첨단 플라즈마 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로, 다양한 플라즈마 처리 응용 프로그램에 고급 기능, 정확한 프로세스 제어 및 고성능 기능을 제공합니다. 다용도, 신뢰성 및 사용 편의성이 반도체 제작, MEMS 제조 및 연구 실험실을위한 귀중한 도구입니다.