판매용 중고 OXFORD Plasmalab System 90 #293605091

OXFORD Plasmalab Equipment 90 (P90) 은 IC 및 일반 마이크로 세공 응용 프로그램을 위해 설계된 고품질 에칭/애싱 에처입니다. 이 고급 에처/애셔는 정밀 에칭 및 관련 응용 프로그램에 이상적입니다. P90에는 단일 가스 흐름 시스템 (single gas flow system) 이 장착되어 있어, 높은 공정 수율을 유지하면서 섬세한 구조를 정확하고 효율적으로 가져올 수 있습니다. P90은 진공 레벨 (최대 1 × 10-6 Torr) 을 갖춘 독특하게 설계된 챔버를 제공하여 에칭 과정을위한 최적의 에칭 환경을 제공합니다. 또한, P90은 통합 히터 및 쿨러 (cooler) 를 가지고 있으며, 에칭 과정에서 다양한 열 패턴을 만들 수 있으므로 정확하고 고해상도 구조가 가능합니다. 또한, 내장 자동 셔터가 장착되어 가스 유량을 실시간으로 제어할 수 있습니다. 또한, P90은 효율적이고 신뢰할 수있는 연동 장치 (interlock unit) 를 가지고 있으며, 이는 특정 기준이 충족되지 않는 경우 에칭 프로세스가 발생하지 않도록 합니다. 또한, P90 의 챔버 (chamber) 는 로봇 암에 의한 웨이퍼의 효율적인 로드 및 언로드 기능과 수동 표본 로드/언로드 장치를 갖도록 설계되었습니다. Plasmalab Machine 90 (Plasmalab Machine 90) 은 사용자에게 친숙한 직관적인 운영 툴을 갖추고 있으며 운영자가 해당 기능에 빠르게 익숙해질 수 있습니다. 콘솔에는 실시간 데이터 (예: 샘플의 프로파일, 상태, 챔버 압력) 가 표시됩니다. 연산자는 챔버 압력을 쉽게 읽고 자산 매개 변수를 조정할 수 있습니다. 또한 P90 에는 원격 액세스 프로그램을 지원하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 모델이 장착되어 있어 이더넷 (Ethernet) 연결을 통해 장비 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. P90 소프트웨어는 포괄적인 원격 제어 기능과 더불어 다운타임 및 배치 (batch) 폐기물을 최소화하는 포괄적인 장애 조사 (fault-finding) 기능을 갖추고 있습니다. OXFORD Instruments가 제작 한 OXFORD Plasmalab System 90은 IC 및 일반 마이크로 세공 응용 프로그램을위한 완벽한 에처/애셔입니다. 다양한 고급 프로세스 기능과 사용이 간편한 운영 장치 (Operating Unit) 를 갖춘 P90 은 복잡한 구조물을 생산할 수 있는 탁월한 품질과 성능을 제공합니다.