판매용 중고 OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277

옥스포드 플라즈말랩 (OXFORD Plasmalab) PRS900 (PRS900) 은 강력하고 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 사용자에게 다양한 재료를 정확하게 에치하고 애셔링할 수있는 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 재료와 기판을 에칭, 애싱 및 에치 클리닝할 수있는 다기능 도구입니다. 그것은 에치 챔버와 애셔 챔버를 모두 특징으로합니다. 에치 챔버에는 래스터링 된 무선 주파수 (RF) 소스와 진공 기능이 있으며, 이를 통해 정확하고 정확한 에칭이 가능합니다. 애셔 챔버에는 트림 애싱을위한 DC 및 RF 전원이 모두 포함 된 RF 소스도 있습니다. 에치 공정은 작동 가스 및 기판 물질을 에치 챔버 (etch chamber) 에 도입하여 PRS900에서 시작되며, 여기서 그들은 RF 소스에 노출된다. 이 기능은 재료 제거 속도를 기판 유형, 가스 유형, 가스 압력, 가스 흐름 속도, 기판 에칭 노출 시간과 같은 매개 변수에 의존하게합니다. 애셔 챔버 (asher chamber) 는 직류 (DC) 및 RF 소스를 사용하여 샘플을 원하는 크기로 트리밍하며, 에치 챔버 (etch chamber) 를 사용하여 트림 모양이 동심합니다. 또한 PRS900에는 에칭 및 애싱 프로세스를 미세하게 조정하기 위해 압력, 시간, 온도를 사용하는 닫힌 루프 프로세스 제어 시스템 (closed-loop process control system) 이 있습니다. PRS900은 유연한 레시피 프로그래밍을위한 이동식 공정 챔버 (removable process chamber), 자동 냉각 다운 (automatic cool-down), 온도에서의 시스템 보호, 재생성 가능한 결과를 보장하는 가스 질량 흐름 계산, 최적화된 플라즈마 생성을위한 RF 일치 회로 등 다양한 고유 한 기능을 자랑합니다. 이러한 모든 기능을 통해 etcher/asher 는 다양한 깊이와 기능 크기에 도달할 수 있는 표준 (standard) 프로파일과 사용자정의된 (customized) 에칭 프로파일을 모두 사용할 수 있습니다. Plasmalab PRS900은 소규모 및 대규모 에칭 및 애싱 프로젝트를 모두 지원하는 다용도 도구입니다. 정밀도, 정확성 향상을 위한 다양한 기능을 제공합니다. 즉, 사용자는 이제 복잡한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 최적화된 플라즈마 생성, 재생 가능한 결과, 유연한 레시피 프로그래밍을 통해 PRS900은 이전보다 더 쉽게 에칭 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있습니다.