판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 #293830575

OXFORD Plasmalab 800은 고급 온보드 에처와 애셔입니다. 온보드 고해상도 이온 빔 소스 (ion beam source) 와 반응성 가스 전달 장비가 포함되어 있습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되어 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 의 높은 증착 에치 속도는 5µm/min이며 선택성, 반복성 및 에지 정의를 개선하면서 최대 1200K까지 온도에 도달 할 수 있습니다. Plasmalab 800에는 FF, SF, CF4, CHF3, CF2Cl, CF 2Br, C 2F 2Cl 2 및 C 2F 2Br을 포함한 광범위한 프로세스 가스가 있습니다. 또한 다양한 기질 화학 물질에 대해 다양한 압력 및 온도주기를 사용할 수 있습니다. OXFORD Plasmalab 800에는 프로세스 매개 변수를위한 라이브 모니터링 시스템도 장착되어 있습니다. 여기에는 가스 흐름, 증착률, 증착 비율, 가스 농도, 압력 및 온도가 포함됩니다. 또한 원격 모니터링이 가능하며 로컬 네트워크 연결 (local network connection) 이나 인터넷을 통해 직접 액세스할 수 있습니다. 이 장치는 자체 포함되어 있으며 작동이 쉽고 유지 보수가 쉽습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 운영 설정 및 문제 해결을 위한 포괄적인 설명서가 있습니다. 최대 3mm 두께의 4 "- 8" 기판을 수용 할 수 있으며, 에칭 후 청소가 필요하지 않습니다. Plasmalab 800은 정밀 에칭 및 재싱을위한 최첨단 도구입니다. 온보드 고해상도 이온 빔 (ion beam) 과 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 은 다양한 마이크로 패브라이션 응용 분야에 이상적입니다. 뛰어난 반복성과 에지 정의 (Edge Definition) 로 프로세스 레이어를 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. 내장된 원격 모니터링 툴을 통해 간편한 진단 및 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 OXFORD Plasmalab 800을 강력하고 매우 귀중한 도구로 만들 수 있습니다.