판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9315629

옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 고급 프로토 타입 및 연구 나드 개발 실험실의 요구를 충족하도록 설계된 에처 및 애셔입니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공정이 가능한 고성능 멀티 챔버 장비입니다. 이 시스템은 독특한 듀얼 챔버 설계 (dual chamber design) 를 사용하여 한 챔버에서 에칭하고 다른 챔버에서 재싱을 허용합니다. 스퍼터 에치 챔버 (sputter etch chamber) 에는 플래튼이 포함되어 있으며 최대 4 개의 기판을 동시에 장착 및 고정 할 수 있으며, 높은 처리량 에칭이 가능합니다. 슬라이딩 도어 (sliding door) 를 사용하면 크기와 모양에 관계없이 기판을 편리하게 로드할 수 있습니다. DI 애싱 챔버 (DI ashing chamber) 는 더 빠르고 일관된 산화물 에칭 속도를 제공하도록 설계되었으며, 쿼츠 기반 싱글 사이드 에처 (single side etcher) 는 가장 최근 세대의 재료에 완벽하게 적합합니다. 두 챔버 모두 독립적 인 강력한 제어 시스템을 통해 운영되거나 관리됩니다. Plasmalab 800 Plus는 Plasma Chamber와 DI ashing chamber의 RF 소스 조합을 사용합니다. RF 소스는 최대 485W 의 효율성을 보장하도록 신중하게 구성되었습니다. 이를 통해 장치는 성능을 저하시키지 않고 얇고 섬세한 기판을 처리 할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 다국어, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 고객은 에칭 챔버, 레시피, 조정 매개변수, 프로세스 타이밍 및 RF 매개 변수에 직접 액세스 할 수 있도록 기계를 쉽게 제어 할 수 있습니다. 사전 프로그래밍된 다양한 레시피 (레시피) 를 이용할 수 있으므로, 특정 애플리케이션의 요구에 맞게 결과를 세밀하게 조정할 수 있습니다. Plasmalab 800 Plus (Plasmalab 800 Plus) 는 안전을 염두에 두고 설계되었으며 항상 운영자 안전을 보장하기 위해 인터 록, 차폐 및 안전 시스템이 제공됩니다. 모든 구성 요소는 현재의 CE 및 FCC 규정을 준수하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 통합 진공 진단 및 원격 액세스 기능도 있습니다. OXFORD Plasmalab 800 Plus는 정확하고 효율적이며 안전한 에칭 및 애싱 처리에 이상적인 선택입니다. 첨단 기능, 견고한 디자인, 직관적인 소프트웨어를 통해 첨단 프로토 타입 (prototyping) 또는 연구 개발 실험실 (Research and development laboratory) 에 필수적인 툴이 됩니다.