판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9090621

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ID: 9090621
PECVD Systems SiOx, SiNx, SiOxNy Deposition Batch process Platen: 450mm With 300°C+ heater RF Power: 350W 13.56MHz and 300W 480KHz Gas pod with 6 lines including following MFCs: N2: 1000sccm N2O: 100sccm N2O: 2000sccm NH3: 100sccm SiH4: 2000sccm Windows PC Currently crated Not included: Pump Chiller 2006-2007 vintage.
OXFORD Plasmalab 800 Plus는 정확한 재료 처리를 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 건조 및 습식 에칭, 애싱 (ashing), 증발 (evaporation) 및 기타 증착 기술을 포함한 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 스퍼터 증착 도구 (sputter deposition tool) 로서, 수백 내지 수천의 섭씨 온도에서 효과적인 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공 할 수있다. Plasmalab 800 Plus는 금속, 유전체, 폴리머 및 기타 재료를 처리 할 수있는 모든 재료 엔지니어를위한 강력하고 정확한 도구입니다. 이 시스템은 저진공 (low to ultrahigh-vacuum) 조건에서 작동 할 수있는 고급 스테인리스 스틸 진공 챔버 (stainless steel vacuum chamber) 를 갖추고 있습니다. 다양한 재료 및 컴포넌트를 챔버에 적재 할 수 있습니다 (예: MEMS 및 기타 미크론 스케일 기술 등). 이 챔버에는 진공 내 로봇 조작기 (in-vacuum robot manipulator) 가 있어 자동 샘플 교환 및 처리량 증가가 가능합니다. 고급 온도 컨트롤러 (Advanced Temperature Controller) 를 추가하면 챔버 내에서 난방 및 냉각을 정확하게 유지할 수 있습니다. 시스템은 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 제어되므로 프로세스 전, 중, 후의 다양한 매개변수를 보다 쉽게 모니터링하고 수정할 수 있습니다. 여기에는 고급 프로그래밍이 포함되어 있으며, 연구원은 특정 재료, 증착 기술 및 기판에 대한 레시피를 만들고 수정할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 환경을 통해 연구자와 엔지니어는 OXFORD Plasmalab 800 Plus에서 제공하는 다양한 고급 에칭, 애싱 및 증착 기능에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. Plasmalab 800 Plus에는 고급 안전 기능이 장착되어 있어 깨끗하고 효율적인 작동이 가능합니다. 챔버 전체의 압력, 온도 센서, 자동 감시, 누출 감지 (leak detection) 와 같은 혁신적인 기능은 모두 안전한 작동을 보장합니다. 안전성 (Safety) 기능은 사용자 친화적 인터페이스로 구성하여 지능적인 방식으로 작업을 모니터링하고 수정하고, 효율적이고, 안정적으로 처리할 수 있습니다. 전반적으로 OXFORD Plasmalab 800 Plus는 에칭, 애싱 및 증착 프로세스에 대한 탁월한 선택입니다. 직관적 인 작동, 정밀, 안전의 강력한 조합은 신뢰할 수 있고 정밀한 재료 처리를 찾는 모든 연구원 또는 엔지니어에게 이상적입니다. Plasmalab 800 Plus는 Ultrahigh 진공 기능, 고급 온도 컨트롤러, 자동 샘플 로딩 및 진공 내 로봇, 종합적인 안전 기능으로, 표적과 정밀한 처리를 위한 최상위 도구입니다.
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