판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293813769

ID: 293813769
PECVD (Plasma‑Enhanced Chemical Vapor Deposition) system.
옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 다양한 재료, 특히 박막과 같은 정밀도가 높은 금속화 가공에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 우수한 성능과 정밀도를 통해 다양한 산업/연구 응용프로그램에 이상적인 선택이 됩니다 (영문). 이 기계에는 7cm 웨이퍼 용량이 장착되어 있어 대규모 샘플 처리에 적합합니다. 저압 시스템 (low-pressure system) 또는 이중 압력 시스템 (dual-pressure system) 중 하나를 선택하여 최대 정확도와 높은 반복성을 갖춘 높은 기판 에칭 및 애싱 속도를 제공합니다. 웨이퍼 크기 범위는 100 - 300mm에서 조정할 수 있으며, 마이크론에서 매크로 스케일까지 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 고전압 전원 공급 장치 (High Voltage Power Supply) 와 Iso 전원 공급 장치 (Iso Power Supply) 를 모두 포함하며, 다양한 플라즈마 프로세스를 구현하고 가장 다양하고 일관된 결과를 제공합니다. 따라서 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있습니다. 또한 온도 조절 옵션 (최대 500 ° C), 작동 압력 (최대 3 Torr) 및 RF 전력 (최대 1kW) 도 제공합니다. 또한, Plasmalab 800 Plus 에는 자동 로드 및 언로드 시스템이 장착되어 있어, 여러 샘플을 동시에 로드하고 이들 간에 쉽게 전환할 수 있습니다. 또한 작업 (Job) 의 특정 요구 사항에 가장 적합한 다양한 사용자 정의 가능 매개변수를 제공합니다. 이 기계는 또한 공랭식 시스템 (air-cooling system) 과 함께 제공되어 안전하고 균일 한 에칭 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 Al, Ti, Au 등 다양한 재료에 적합하며, 품질이나 신뢰성이 저하되지 않습니다. 옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 의 사용자 친화적 인 인터페이스는 다양한 외부 데이터베이스 및 공구 경로와 쉽게 통합되므로 처리가 쉽고 효율적입니다. 이 시스템은 또한 다양한 진단 프로그램 (diagnostics) 을 통해 사용자에게 시스템에 대한 귀중한 통찰력을 제공하여 프로세스 안전 (process safety) 과 신뢰성을 높여줍니다. 전체적으로 Plasmalab 800 Plus는 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적인 선택입니다. 다용도 기능, 견고한 디자인, 뛰어난 성능, 전문 사용자를 위한 탁월한 선택입니다.
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