판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293615031

옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 산업, 연구 및 개발 에칭 및 애싱 프로젝트의 생산을위한 고속 및 정확성을 제공하도록 설계된 업계 최고의 etcher/asher입니다. 이 기계는 플라즈마 챔버, 덮개 엘리베이터, 전원 공급 장치, 디지털 컨트롤러 및 RF 발전기 장치, 원격 인터페이스 및 플라즈마 공정 챔버가있는 오픈 엔드, 클로즈드 엔드 및 이온 빔 소스로 구성됩니다. 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 는 플라즈마와 온도가 최대 180 ° C까지 견딜 수있는 내성 세라믹 기반 물질로 만들어집니다. 이것은 통합 덮개 엘리베이터와 결합하여 최적의 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 액세스 및 최대 직경 200mm 기판의 완전한 샘플 로딩 및 언로드를 가능하게합니다. 제어판, 정전식 센서 및 기타 안전 (safety) 기능은 장치가 완전 자동화 모드에서 안전하게 작동되도록 합니다. 에처/애셔는 독특한 펄스 파워 기술과 함께 고급 질소 농축 플라즈마 및 이온 빔을 사용합니다. 따라서 이러한 기술 조합을 통해 온도, 압력, 시간, 전력 등 에칭 및 애싱 프로세스 매개변수의 전체 제어가 가능합니다. 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 와 RF 생성기 (RF Generator) 는 또한 가장 섬세한 기판에서도 정확한 에칭 및 애싱 결과를 허용하는 엔드포인트 감지를 위해 프로그래밍 가능한 값과 진단을 제공합니다. 오픈 엔드 및 클로즈드 엔드 소스에는 최대 50 W의 로드와 최대 6 인치 직경의 프로세스 챔버가 있습니다. 이온 빔 소스에는 최대 15keV의 빔 에너지와 장치당 최대 50A의 전원 공급 장치가 있습니다. 프로세스 사이클은 최대 100 개의 순차 프로세스까지 프로그래밍 가능하며, 나중에 사용할 수 있도록 저장할 수 있습니다. 원격 인터페이스 (Remote Interface) 를 통해 모든 머신 작업 및 프로세스 매개변수를 원격 제어할 수 있으며, 더 높은 수준의 재현성 (Reprodibility) 과 정밀도 (Precision) 뿐만 아니라, Etcher/Asher를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 전반적으로 Plasmalab 800 Plus etcher/asher는 산업 및 연구 목적을위한 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 고급 고성능 도구입니다. 에처/애셔 (Etcher/Asher) 는 뛰어난 자동화 및 정밀도를 제공하여 안정적인 반복성과 일관된 결과를 통해 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적이고, 사용하기 쉬우면서도 다재다능한 디자인으로, OXFORD Plasmalab 800 Plus는 모든 에칭 및 애싱 요구 사항에 대한 신뢰할 수 있고, 혁신적이며, 자급 자족 적 인 에처/애셔입니다.