판매용 중고 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293606951

OXFORD Plasmalab 800 Plus는 고급 고정밀 광학 마스크 정렬 및 애셔입니다. 마이크로 일렉트로닉 장치 및 광자 부품 생산에 사용하도록 설계되었습니다. Plasmalab 800 Plus (Plasmalab 800 Plus) 는 마스크 정렬기 응용 프로그램을위한 다용도 도구를 제공하여 단일 장비로 에치, 리액티브 이온 에치, 애셔 및 클린 집적 회로 레이어를 사용할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 광학 마스크 정렬 기술을 사용하는 장치의 프로토타입 및 생산을 가능하게하는 대규모 공정 챔버로 설계되었습니다. 약실은 제어 된 진공 환경 내에서 에칭, 반응성 이온 에칭 (RIE), 애싱, 진공 증착 및 기타 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 광학 마스크 정렬 (Optical Mask Aligner) 은 전체 원 슬레이브 미러 스캐닝 메커니즘을 사용하여 에칭 된 기판에 광학 패턴 마스크를 안정적이고 고해상도 정렬합니다. 또한, 이 시스템은 강력한 웨이퍼 보트 (wafer boat) 를 사용하여 기판과 마스크를 빠르고 정확하게 배치 할 수 있습니다. Plasmalab 800 Plus는 기본 마스크 정렬 및 에칭 기능 외에도 고급 기능도 제공합니다. 이 장치는 제어 된 RIE 프로세스를 통해 기판 전체에서 에칭 된 피쳐의 균일성을 보장합니다. 이 기계 는 또한 "오존 ', 산소 및 질소 기반 청소 과정 을 엄밀 히 제어 할 수 있으며, 단일 도구 로 장치 를 청소 하고 가공 할 수 있다. 또한, 에셋을 사용하면 사용자가 선택 항목을 에칭하여 프로세스 레이어를 부분적으로 에칭할 수 있습니다. 마지막으로, 옥스포드 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD Plasmalab 800 Plus) 는 직관적인 사용자 제어 모델을 사용하여 다양한 프로세스 매개변수를 신속하게 프로그래밍하고 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 광 마스킹 기술을 활용하여 빠르고, 효율적이며, 비용 효율적인 디바이스를 생산할 수 있습니다.