판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 #293630465

OXFORD Plasmalab 80은 웨이퍼, 캡슐화 된 다이 (die) 및 높은 종횡비 기판을 처리 할 수있는 최첨단 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 고도로 진화 된 시스템은 200mm 고가로 종횡비 척 (chuck) 을 갖춘 시장에서 몇 안되는 시스템 중 하나이며, 마이크로 및 나노 스케일 구조의 에칭, 애싱 (ashing) 및 플라즈마 청소에 필요한 모든 매개 변수를 제공 할 수 있습니다. Plasmalab 80의 핵심은 추가 된 프로세스 챔버 (process chamber) 로, 균질 한 프로세스 분배를위한 새로운 디지털 스캐너 (digital scanner) 와 일관된 에칭 및 애싱 결과를 위해 정확한 압력 설정을 위해 멀티 포인트 압력 제어 장치 (multi-point press control unit) 를 사용합니다. 이 기계는 또한 고출력 RF 플라즈마 소스를 특징으로하며, 플라즈마 밀도가 높은 중요한 에칭, 애싱 (ashing) 및 청소 작업을 달성하는 데 필요한 상당한 양의 플라즈마 전원을 제공합니다. 플랫폼의 8 인치 용량은 빠른 주기와 향상된 처리량을 허용하는 반면, 이 장치의 250kg 더블 도어 (double door) 도구는 향상된 웨이퍼 처리 및 향상된 안전을 제공합니다. 이 Plasmalab 모델은 또한 여러 기판 유형과 크기를 처리할 수 있는 기능을 자랑하며, 서로 다른 기판을 처리할 때 처리량을 높이고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 자산의 모든 컴포넌트 (component) 는 온도에 민감한 프로세스에 대한 정확한 온도 및 압력 제어를 위해 서로 협력하도록 설계되었습니다. 이를 통해 다양한 응용 프로그램의 재현성과 높은 수율을 보장할 수 있습니다. 사용자 친화적 설계는 매우 직관적이고, 고객 친화적이며, 이 모델을 쉽게 사용할 수 있습니다. 플라즈마밥 80 (Plasmabab 80) 은 고성능 R&D 실험실에 탁월한 생산성과 품질을 제공하는 강력한 에처 및 애셔 솔루션입니다. 이 최첨단 플라즈말랩 (Plasmalab) 모델은 모든 운영자가 모든 종류의 재료에 적합한 프로세스를 찾을 수 있도록 포괄적인 레시피 라이브러리를 제공합니다.