판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 -M (Oxford Plasmalab 80 Plus-M) 은 저압 플라즈마 환경에서 파인 라인 에치와 재를 빠르게 생성하도록 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 다양한 형태와 크기의 기판을 처리 할 수있는 완전하게 자동화되고, 다용도가 높은 장치입니다. 기계 는 여러 개 의 "가스 '원 에 직접 연결 되는 진공실 과" 가스' 전달 도구 로 구성 되어 있어 여러 가지 공정 상태 를 유지 할 수 있다. Plasmalab 80 Plus-M은 고주파 전원 공급 장치로 구동되는 CCP (Capacitively Coupled Plasma) 소스를 사용하여 에칭 및 애싱 프로세스를 활성화합니다. 산소, 질소, 아르곤, 플루오로카본, 탄화수소 를 포함 한 여러 가지 "가스 '와 고해상도 에칭 (etching) 과 재싱 을 촉진 하기 위한 여러 가지 압력 과 동력 수준 을 사용 할 수 있다. 자산에는 프로그래밍 가능한 턴테이블 (turntable) 이 장착되어 있어 여러 기판을 편리히로드 및 처리할 수 있습니다. 증착 균일성은 정확한 가스 흐름 제어를 위해 임베디드 아두이노 마이크로 컨트롤러 (Arduino microcontroller) 가있는 대칭 증착 쉴드를 통해 향상됩니다. 코일 퀸치 (coil quench) 기술과 빠른 사이클 시간 (30 ms) 을 통해 모델의 에너지 활용도가 극대화됩니다. 또한, 장비에는 증착 조건, 챔버 온도 및 청결을 모니터링하는 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus-M은 고정밀도, 안정성 및 반복 가능한 프로세스 결과에 이상적인 솔루션입니다.