판매용 중고 OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250

OXFORD Plasmalab 133 Plus는 산업 등급 에칭 및 애싱 응용 분야에 사용되는 플라즈마 에칭/애셔 장비입니다. 고성능 전자 레인지 플라즈마 소스와 고급 에칭 및 애싱 기술을 결합합니다. 이 시스템은 200mm 플라즈마 프로세서 (plasma processor) 를 기반으로 하며 고해상도 열 및 플라즈마 공정 결과를 생성할 수 있습니다. 이 장치는 광범위한 이방성 (anisotropy) 제어를 제공하여 사용자가 매우 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. Plasmalab 133 Plus는 다양한 기능을 제공합니다. 종횡비가 높은 가공 재료에 사용할 수있는 1,200 ½ m 균일 해상도를 특징으로합니다. 매우 높은 정밀도로 최대 200nm 두께의 레이어를 도핑/도핑 해제할 수 있습니다. 또한, 알루미늄 및 구리 증착, 음극 화, 화면 인쇄, 스핀 온 비 전도성 유전체 및 스퍼터 에칭을위한 다양한 대체 공정 소스를 갖추고 있습니다. 안전과 관련하여 OXFORD Plasmalab 133 Plus는 엄격한 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 압력, 온도, 안전 매개변수를 모니터링하고 연속적이고 안전한 작동을 보장하는 Interlock-Net 안전 시스템이 특징입니다. 게다가 저가형 배기가스 관리 머신 (Exhaust Management Machine) 은 유해 물질의 영향을 줄이고 환경 규정을 준수하는 데 도움이 됩니다. 생산성 측면에서 Plasmalab 133 Plus는 시간당 최대 700 웨이퍼의 높은 처리량을 제공합니다. 또한 자동화된 프로세스 매개변수, 프로세스 레시피 프로그래밍, 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 조건 모니터링 등의 고급 프로세스 제어 기능도 갖추고 있습니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (graphics-user interface) 를 통해 광범위한 프로세스 메트릭을 볼 수 있습니다. OXFORD Plasmalab 133 Plus는 반도체 산업을위한 고급적이고 반응성이 높은 에칭 및 애싱 도구입니다. 즉, 사용자가 최소한의 노력으로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있는 인상적인 기능과 툴 세트로 설계되어 있습니다 (영문).