판매용 중고 OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293649661

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380
ID: 293649661
System Dual chamber.
OXFORD Plasmalab 133-ICP 380은 표면 공학 및 제작에 널리 사용되는 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 제품은 신뢰성이 높고 비용 효율적인 장비로, 다양한 기판에서 다양한 유형의 표면 (surface) 프로세스에 사용될 수 있습니다. OXFORD PLASMALAB 133 ICP380은 표면을 에치 및/또는 청소하기 위해 활성 가스 혼합물 (일반적으로 산소, 질소 및 아르곤) 을 사용하는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에처/애셔입니다. ICP 에처는 유도 결합 RF 필드에 의해 생성 된 반응성 이온 빔 (reactive ion beam) 을 사용하여 기질의 표면 특성을 수정하고, 거칠기, 형태 및 기타 특성을 제어합니다. 이 "시스템 '은" 플라즈마' 밀도 가 높아 식각 속도 가 높으며, 표면 의 전하 축적 및 오염 을 최소화 하도록 최적화 된다. PLASMALAB 133 ICP 380은 총 압력 범위가 0.1 - 10 mtorr 이며, 정밀한 가스 전달을 위해 디지털 스테퍼 모터 제어 가스 흐름 측정기가 장착되어 있습니다. 효율적인 가스 전달 장치 (efficient gas delivery unit) 는 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 광범위한 조건에서 균일 한 에칭을 보장합니다. 머신에는 임베디드 인터페이스 (Embedded Interface) 가 장착되어 있어 에치 성능 (Etch Performance) 과 에치 (Etch) 조건을 모두 모니터링하고 제어할 수 있는 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스가 제공됩니다. Plasmalab 133-ICP 380은 다양한 표면 공학 응용 분야에 이상적인 발판입니다. 내구성이 뛰어나 수년 동안 일관된 에치 성능을 제공합니다. 비 접촉 및 비 열 처리 기반 플라즈마 처리는 우수한 표면 특성을 보장하고 일관된 결과를 산출합니다. 기판 온도 제어 및 피드백 도구를 사용하면 서피스 피쳐가 정확하고 균일합니다. 또한, 통합 optics는 etch 프로세스를 직접 모니터링하여 균일성과 프로세스 반복성을 가능하게합니다. 마지막으로, 플라즈마 처리 기능을 사용하여 코팅 및 증착 재료를 적용 할 수 있습니다. 전체적으로, PLASMALAB 133 - ICP 380은 신뢰할 수 있고 다양한 도구로서, 에치 및 클리닝 프로세스를 극도로 정밀하게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 자산의 균일 한 에칭 (etching), 내구성이 뛰어난 구성, 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 광범위한 표면 엔지니어링 및 제작 요구를 충족할 수 있습니다.
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