판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #9364612

OXFORD Plasmalab 100은 정밀 플라즈마 처리를 위해 특별히 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 즉, 광범위한 기능을 통해 보다 정확한 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 이 에처는 금속과 플라스틱의 조합으로 만들어졌으며, 최대 4500 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고출력 샘플 홀더를 포함합니다. 내장형 소프트웨어는 사용하기 쉽고, 프로세스의 온도, 압력, 전력, 총 에치 (etch) 시간을 완벽하게 제어할 수 있습니다. asher의 에치 면적은 150mm이며 고압 작동 범위는 0-450 mtorr입니다. 냉각된 Pyrex® 챔버가 있으며, O 링 밀봉으로 봉인되어 대피하지 않습니다. 이렇게 하면 처리 정확도가 높아지고 에치 속도가 최대화됩니다. 또한, 에처는 장거리 보호를 제공하면서 간섭과 호를 억제하기 위해 패러데이 케이지 (Faraday cage) 가있는 높은 저항 방패를 포함합니다. 또한 내장 공기 여과 시스템과 저온 항산화 코팅 (anti-oxidation coating) 을 통해 가공 오염 물질 및 입자 축적을 줄일 수 있습니다. Plasmalab 100은 빠른 열 가속을 제공하여 주기 시간을 크게 줄입니다. 정밀도가 높은 z 높이 (z-height) 조정과 색상 코드가 적용된 엔트리/엑시트 (entry/exit) 시스템을 통해 사용자가 올바른 프로세스 단계를 빠르게 선택할 수 있습니다. 또한 직관적인 디지털 컨트롤 시스템 (touch panel) 을 통해 사용자는 에칭 프로세스의 각 단계를 정확하게 추적할 수 있습니다. OXFORD Plasmalab 100 etcher는 쉬운 챔버 정리 공정으로 최적의 안전 및 강도를 위해 설계되었습니다. "플라즈마 '발전기 는 극소 의 유지 보수 를 통해 정확 한 결과 를 보장 하기 위하여 엄격 한 시험 을 받았으며, 고급 설계 는 시장 에서 가장 정밀 한" 플라즈마' 처리 를 제공 한다.