판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #9097045

OXFORD Plasmalab 100은 플라즈마 처리에서 개선되고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장치는 다양한 플랫폼을 제공하므로 인라인 (In-Line) 구성과 배치 (Batch) 구성을 모두 수용하면서 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 애플리케이션 간에 빠르고 쉽게 전환할 수 있습니다. 이 다재다능한 etcher/asher 장비는 OXFORD 고급 무선 주파수 (RF) 플라즈마 소스 기술로 구동되며, 증착, 에칭 및 애싱 제어를 위해 고급 챔버와 함께 최대 100 와트의 가변 전력 출력을 가진 주요 RF 발전기를 사용합니다. Plasmalab 100은 프로세스 결과를 빠르게 최적화하는 초고속 레시피 시스템을 갖추고 있습니다. 이 머시닝 스틸 챔버에는 디지털 PID 제어 균일 난방 및 냉각, 비활성 퍼지 및 다양한 공정 레시피가 있습니다. 이 장치는 대기 및 저압 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 모두 가능하며, 가장 호환 가능하고 최적의 프로세스 조건이 항상 챔버에서 유지되도록 보장합니다. 옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 의 내장 안전 및 보호 시스템은 포괄적이고 포괄적이며, 사용자가 실수로 챔버 또는 기타 구성 요소를 손상시키지 못하도록 방지합니다. 이 기계에는 과온 보호, 과전류 보호 및 안전 연동 시스템이 포함되어 있어 안전한 작동을 보장합니다. 온보드 푸메 추출 도구 (Integrated Fume Extraction Tool) 는 기화 된 미디어를 안전하게 제거하여 작업 영역에 들어가지 않습니다. Plasmalab 100은 또한 사용자가 가장 일반적으로 사용되는 명령 (예: 레시피 선택, 펌프 제어, 컨트롤러 선택) 을 자동화할 수있는 통합 제어 에셋을 제공합니다. 이 제어 모델을 사용하면 마우스 클릭 (click) 만으로 다양한 매개변수를 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 장비에는 여러 시스템 매개변수에 대한 실시간 모니터링 및 제어를 제공하는 완벽한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있습니다. OXFORD Plasmalab 100은 비용 효율적이고 다재다능한 etcher/asher로, 플라즈마 처리 응용 프로그램에서 향상된 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 RF 소스 기술을 활용하여 기존 에칭 방식 (예: 프로세스 균일성 향상, 반복 가능성 향상) 에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 또한, 통합 안전 보호 (Integrated Safety Protection) 는 안전한 작업 환경을 제공하는 반면, 내장 제어 머신은 운영자가 신속하게 프로세스를 자동화 할 수 있습니다.