판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293824078

OXFORD Plasmalab 100은 고품질, 매우 정밀한 정전용 결합 플라즈마 (CCP) 결과를 생성 할 수있는 에칭 및 에칭 리프트 오프 (ELO) 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 측면, 아웃라인 정확도, 정의 수준 등의 고해상도 (High Resolution) 기능을 제공합니다. Plasmalab 100은 산화물 에칭, 산화물 리프트 오프 포토 esist 및 산화물 역 에칭 공정에 사용하도록 최적화되었습니다. OXFORD Plasmalab 100은 ELF (Extreme Low Flow) 플라즈마 기술을 갖추고 있으며, 일관된 프로세스 시간과 균일성을 통해 보다 깨끗하고 안정적인 에치를 제공하는 독특한 소형 가스 흐름 장치를 사용합니다. 이 기계는 빠르고 유연한 응답으로 다양한 작동 매개변수로 전자적으로 튜닝 (tuning) 할 수 있습니다. Plasmalab 100에는 50kHz 전원 공급 장치가 장착 된 12 인치 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 장착되어 안정적이고 효율적인 에칭 프로세스를 제공합니다. OXFORD Plasmalab 100은 또한 재료 제거 양에 따라 에치 챔버의 주파수 설정을 동적으로 및 자동으로 조정하는 AFT (Automatic Frequency Tune) 기능을 제공합니다. 따라서 더 깊은 에치, 더 매끄러운 벽 및 더 나은 치수를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 정밀 XYZ Stage 인식 및 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 특징으로합니다. 이 GUI 는 다중 레이어 (multi-layer) 에치 작업 중에도 챔버 (chamber) 매개변수와 복제 결과를 간단하고 빠르게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 고급 시뮬레이션 기능, 유지 관리되지 않는 장애 감지 (non-mainted fault detection), 챔버 상태 모니터링 (chamber status monitoring) 등 포괄적이고 포괄적인 프로세스 제어 및 진단 기능을 제공합니다. 또한 Plasmalab 100은 빔 디포커스 센서, 자동 초점 튜닝, 프로그래밍 가능한 빔 강도 및 고급 레이어 별 레시피 빌딩 기능을 제공합니다. 전반적으로 옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 은 효율적이고 강력한 에처로, 사용자에게 탁월한 정확성과 균일성을 갖춘 고품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델의 고급 기능은 프로토타입 (prototype) 과 프로덕션 에칭 (production etching) 어플리케이션 모두에서 탁월한 선택입니다.