판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293757023
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옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 은 광범위한 응용 분야에서 최적의 제어 및 정밀도를 위해 설계된 유도 결합 플라즈마 에치 장비입니다. 이 에치 시스템은 전력, 압력, 가스 흐름 (Gas Flow) 과 같은 에칭 매개변수의 조합을 사용하여 최상의 에칭 결과를 얻습니다. 플라즈마 에치 (Plasma etch) 장치에는 대규모 기판 구성을 처리 할 수있는 낮은 볼륨, 모듈러 기반의 디자인이 장착되어 있습니다. 플라즈말라브 100 (Plasmalab 100) 은 새로운 매개변수의 직접 커플 링과 바이어스 (bias), 파워 (power), 압력 (pressure) 과 같은 컴포넌트의 업그레이드 가능성을 가능하게 합니다. 처리량이 높은 OXFORD Plasmalab 100은 최첨단 디자인과 기능으로 인해 최고의 정밀 에칭을 달성합니다. 에치 머신은 매치 박스 스타일의 전원 모듈 (power module), 가스 흐름 제어 장치 (gas flow control unit) 및 130cm 큐브 (cubed) 의 플라즈마 챔버 볼륨과 같은 고성능 구성 요소로 구성되어 있어 크고 효율적인 기판 에칭 기능을 제공합니다. 또한, 에치 툴 (etch tool) 은 다양한 에칭 및 클리닝 실험을 가능하게 하는 유연한 가스 전달 구성을 갖추고 있습니다. 이러한 유연성 (Flexibility) 은 높은 수준의 프로세스 다양성 및 제어 기능을 제공하여 많은 연구/산업 응용프로그램에 이상적인 에치 (etch) 자산입니다. Plasmalab 100은 또한 고급 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 직관적인 소프트웨어와 사용자 친화적 그래픽 디스플레이를 통해 최소한의 교육을 통해 빠르고 정확하게 매개변수를 조정할 수 있습니다 (영문). 또한, etch 모델의 대화형 LED 디스플레이 및 LED 색상은 프로세스 매개변수에 대한 시각적 피드백을 제공하여 사용자가 문제를 쉽게 파악하고 해결할 수 있습니다. 간단히 말해, 옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 은 다양한 디자인과 고급 사용자 인터페이스로 인해 고정밀 에칭 및 클리닝 결과를 달성 할 수있는 고급 에치 장비입니다. 모듈 식 설계 및 업그레이드 가능한 구성 요소는 연구 실험실에서 생산 시설에 이르기까지 여러 가지 에칭 및 클리닝 응용 프로그램 (etching and cleaning application) 에 이상적인 도구입니다.
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