판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293666727

OXFORD Plasmalab 100 (또는 줄여서 P100) 은 플라즈마 에칭 및 처리에 사용되는 고급 플라즈마 에처 또는 애셔입니다. 컴퓨터 제어 플라즈마 처리를 사용하여 기판 또는 웨이퍼에서 재료를 에치, 프로파일 또는 제거하는 완전 자동화 된 6 축 로봇 암 시스템입니다. P100에는 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 대형 로봇 암 어셈블리에 위치한 소모품이 있습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 처리 중인 재료의 최대 균일성과 최소 거주 시간을 위해 설계되었습니다. 약실은 오염을 방지하고 플라즈마 처리 중에 낮은 양의 이온 오염을 유지하기 위해 압력 밀봉 (pressure-sealed) 됩니다. 이를 통해 광범위한 애플리케이션에 대해 일관되게 고품질 에치 결과를 얻을 수 있습니다. P100은 고해상도 CCD 카메라와 고정밀 정전기 결합 플라즈마 (CCP) 에칭 (etching) 을 특징으로하여 교차 오염의 발생을 줄이고 제품의 최고 품질을 보장합니다. 사용 중인 프로세스에 따라 챔버를 가압 또는 대피 할 수 있습니다. 로봇 암 (robot arm) 어셈블리는 P100의 긴 수명 및 연장 된 사용을 보장하기 위해 다이아몬드와 같은 코팅이있는 고강도 합금으로 만들어집니다. P100은 네 가지 구성 요소 (기본 컨트롤러, 원격 콘솔, 모니터 및 옵티컬 리더기) 로 구성됩니다. 13 "터치스크린 LCD (Touchscreen LCD) 를 통해 작동하는 기본 컨트롤러에서 사용자는 프로세스 매개변수와 제어 매개변수를 입력할 수 있습니다. Remote Console 은 Ech Tables 를 실행하여 프로세스 제어를 쉽고 빠르게 수행하는 데 사용되는 별도의 Display 입니다. 이 모니터를 사용하여 사용자는 프로세스 진행을 확인할 수 있으며, 광학 판독기 (Optical Reader) 는 웨이퍼 위치가 정확하고 일관성을 보장합니다. 이것은 일관된 결과를 만드는 데 필수적입니다. P100에는 비상 정지 버튼, 챔버-벤트 (chamber-vent) 버튼, 경보 시스템 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능은 과잉 처리 (overprocessed) 된 것이 없도록 하고, 이 프로세스의 유해성이 낮고 유해한 수준입니다. 전반적으로, Plasmalab 100은 합리적인 비용으로 정밀 결과를 달성 할 수있는 고급 로봇 플라즈마 에처 및 애셔 시스템입니다. 또한 사용자가 안정적이고, 안전하며, 자동화된 etch (에치) 프로세스를 제공하며, 와퍼를 절대 정확도로 포지셔닝할 수 있으므로 다양한 애플리케이션에 매우 다양합니다.