판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293651867

OXFORD Plasmalab 100은 하드 및 소프트 재료 처리를 위해 특별히 설계된 고급 차세대 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 단일 챔버 장비는 플라즈마로 에칭하고 산소 기반 반응물 가스로 애싱 할 수 있습니다. 이 Plasmalab 100에는 직접 흐름 기반 저압 플라즈마 소스 (low pressure plasma source) 와 고출력 원격 플라즈마 소스 (plasma source) 가 장착되어 있으며, 둘 다 다양한 작동 가스를 처리 할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 은 폴리머, 금속 및 반도체 재료를 포함한 모든 유형의 재료의 매우 정확한 플라즈마 에칭에 사용될 수 있으며, 거의 모든 에칭 적용이 가능합니다. 플라즈말랩 100 (Plasmalab 100) 은 기판 표면의 에치 레이트 (etch rate) 를 균일하게하는 독특한 통합 전기 척 (electrical chuck) 과 수지 펠릿을 대량으로 또는 작은 조각을 효율적으로 챔버에 적재 할 수있는 공급 시스템을 포함하여 수많은 장점을 제공합니다. 또한 OXFORD Plasmalab 100은 직관적 인 사용자 인터페이스를 갖추고 있으며 최대 4 개의 에치 레시피를 동시에 지원하여 대규모 제조 작업을 허용합니다. 또한, Plasmalab 100은 또한 이중 압력, 이중 가스 단위를 특징으로하며, 기능 크기를 10nm 미만으로 확장하기 위해 광범위한 플라즈마 화학 물질을 결합 할 수 있으며, 업계 전체의 최첨단 제작 공정을 가능하게합니다. 기계의 뛰어난 제어 기능도 반복 가능한 결과를 생성합니다. 안전 및 환경 보호를 위해 OXFORD Plasmalab 100은 자동 안전 밸브, 화재 안전, 가스 차단 및 단락 회로 보호 시스템을 포함한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한, Plasmalab 100 은 사용자에게 다양한 모니터링 및 제어 기능과 데이터 로깅 (data logging) 기능을 제공하며, 이 모든 기능을 통해 사용자는 이 etcher/asher 가 지원하는 정교한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 최대한 활용할 수 있습니다.