판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293649326

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293649326
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 100은 OXFORD Instruments의 에칭 및 애싱 장비입니다. 반도체 분석을위한 샘플 준비에 이상적인 컴팩트한 올인원 시스템입니다. 탁월한 성능, 유연성 및 처리 시간을 제공합니다. 플라즈말랩 100 (Plasmalab 100) 은 순차적 처리에 이상적인 동시 에칭 및 애싱 (ashing) 을 허용하는 두 개의 독립적 인 프로세스 챔버를 갖춘 단순하고 사용자 친화적 인 제어 인터페이스를 갖추고 있습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 압력 (ashing pressure), 온도 (temperature) 및 가스 흐름 (gas flow) 과 같은 다양한 매개변수를 전면 패널 또는 원격 소프트웨어에서 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 최소 양의 잔류물로 매우 높은 에치 레이트 (etch rate) 를 생성 할 수 있습니다. 이중 챔버 병렬 프로세스를 통해 여러 샘플을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 기계의 활성 온도 범위는 -40 ° C ~ 350 ° C이며 유기 및 무기 물질을 모두 처리 할 수 있습니다. OXFORD Plasmalab 100에는 내장 이온 게이지 및 터보 펌프 기반 진공 공구가 장착되어 있으므로 장기적인 고진공 작동이 가능합니다. 또한, 자산에는 다양한 액세서리가 제공되며, 과온 (over-temper) 및 과압 보호 (over-pressure protection) 및 저가스 흐름 경고 모델 (low gas flow warning model) 과 같은 여러 안전 기능이 있습니다. 데이터 로깅 및 아카이빙 (Archiving) 소프트웨어가 내장되어 있어 추적성을 보장하며, 더 많은 분석을 위한 귀중한 데이터를 제공합니다. Plasmalab 100은 샘플 준비, MEMS 장치, 증착 에칭, 표면 청소, 장치 산화물 에칭 등과 같은 반도체 분석에서 다양한 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 이 장비는 다양한 샘플 (sample) 분석을 위한 탁월한 도구를 제공하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
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