판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 #293636271

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293636271
ICP-RIE System.
옥스포드 플라즈말랩 100 (OXFORD Plasmalab 100) 은 고품질의 재현 가능한 결과 생산을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. Plasmalab 100은 낮은 유지 관리 비용, 뛰어난 신뢰성, 강력한 성능, 마이크로프로세스 (microprocess) 및 프로세스 제어 시스템을 결합하여 효율성을 최적화하고 자원 사용을 줄입니다. 이것 은 독특 한 "피라미드 '구조 와 고도 의 정밀도 와 재현성 을 제공 하는, 강화 된 공정 제어 를 특징 으로 한다. OXFORD Plasmalab 100은 고밀도 플라즈마, 고속 애싱 및 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 컴퓨터 제어, 마이크로 프로세서 기반 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 통합 프로세스 제어 기능에는 애싱/에칭 (ashing) 환경을 조절하고 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하기 위한 특허 출원 중인 RF 생성기가 포함됩니다. 또한 연동 가스 퍼지 (Interlocked Gas Purge) 및 배기 시스템 (Dishaust System) 이 포함되어 있습니다. 장치가 2 개의 독립적 인 병렬 챔버를 장착하여 사용자는 한 번에 최대 4 개의 다른 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 각 약실 은 서로 다른 물질 에 필요 한 "플라즈마 '밀도, 온도 및 압력 에 맞도록 개별적 으로 조정 할 수 있다. 이 다용도는 USB 장치를 사용하여 Plasmalab 100으로 전송되는 다양한 사용 가능한 프로세스 레시피 (레시피) 에 의해 더욱 향상됩니다. OXFORD Plasmalab 100에는 50mm 터렛 프로브 (turret probe) 와 2개의 100mm 프로브 (probe) 가 장착되어 있어 크고 작은 가공소재를 모두 사용할 수있는 유연성을 제공합니다. 과압을 막고, 위험한 프로세스 조건을 예방하고, 인력 안전을 보장하는 안전시스템 (Safety System) 이 내장되어 있습니다. 이 기계는 또한 데이터 모니터링 도구 (data monitoring tool) 를 갖추고 있으며, 프로세스 효율성을 최적화하기 위해 실시간 피드백을 제공하도록 설정할 수 있습니다. Plasmalab 100은 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 재생성적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 자산을 찾는 사용자에게 이상적인 선택입니다. 독보적인 디자인, 견고한 운영, 강력한 성능을 갖춘 이 제품은 업계/연구 분야에 적합합니다.
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