판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9205766

OXFORD Plasmalab 100 Plus
ID: 9205766
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
PECVD System, 6" 1996 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 Plus는 실험실 및 연구 시설에 사용하도록 설계된 최첨단 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 반도체 재료, 마이크로 전자 장치 및 MEMS 장치의 정확한 에칭 및 해시를 위해 설계되었습니다. 금속, 석영, 실리콘, 유리, 세라믹, 폴리머 등 다양한 기질을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 저가의 RF 전원 공급 장치를 사용하여 진공 챔버에 고밀도, 저압, 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 만듭니다. 그런 다음 ICP 소스를 사용하여 기판 재료의 정해진 부분을 에치 (etch) 하고 제거합니다. Plasmalab 100 Plus (Plasmalab 100 Plus) 의 뛰어난 유연성을 통해 사용자는 기판 유형과 원하는 사양에 따라 에칭 및 애싱 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 기계는 압력, 온도, 주파수, 가스 흐름 등 여러 매개 변수를 갖춘 고급 커패시턴스 (capacitance-type) 공정 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 고급 프로세스 컨트롤러 (advanced process controller) 를 사용하여 etching 매개변수를 세밀하게 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 100 플러스 (OXFORD Plasmalab 100 Plus) 에는 직관적인 사용자 인터페이스가 제공되며, 이를 통해 사용자는 원하는 에칭 매개변수를 정확하게 선택하고 프로세스의 자동 작동을 활성화할 수 있습니다. 이 도구에는 압력 판독 장치 (pressure readout) 와 사용자 편의를 위한 디지털 타이머 (digital timer) 도 포함되어 있습니다. 에셋에는 습식 에치 (wet etch) 기능과 여러 에칭 프로세스를 제어하는 인터페이스가 있습니다. 이 모델은 유지 보수가 쉽고 내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 설계를 갖추고 있습니다. 이 장비는 또한 작업 환경에서 공기 입자와 유해 폐기물을 줄이기 위해 고효율 먼지 여과 시스템 (Hi-efficient dust filtration system) 을 갖추고 있습니다. Plasmalab 100 Plus (Plasmalab 100 Plus) 는 신뢰할 수 있는 고급 에칭 및 애싱 장치로서 사용자에게 안정적인 결과를 제공합니다. 이 기계는 정확한 제어 및 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 실험실 연구 및 개발 응용 프로그램에 이상적입니다.
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