판매용 중고 OXFORD Plasmalab 100+ ICP 380 #293769565

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에처/애셔
제조사
OXFORD
모델
Plasmalab 100+ ICP 380
ID: 293769565
웨이퍼 크기: 6"-8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"-8" X20 PLC Upgraded Process: Ar, O2 Hine robot 25-Slots cassette module Gases: O2, CHF3, CF4, SF6, Ar, C4F8, BCL3, CL2 Power supply: 415 V, 3 Phase.
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