판매용 중고 OXFORD / LANCER 1000 #126491

OXFORD/LANCER 1000은 정확한 플라즈마 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔 머신입니다. 공정 제어 기술 (process control technology) 을 활용하여 넓은 영역과 빠른 주기 시간, 그리고 더 작은 영역 내에서 정밀 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 능가합니다. 이러한 기능의 조합으로 인해 OXFORD 1000은 photomask 생산, micromachining 및 기타 정밀 프로세스에 사용할 수있는 이상적인 도구입니다. LANCER 1000에는 플라즈마 소스의 정확한 이동을위한 트리플 축 암이 있습니다. 시스템 가동 중지 시간을 최소화하는 효율적인 가스 공급 장비, 전체 기판 전체에 걸쳐 정확한 플라즈마 분포를 보장하는 고해상도 이미징 탐지기 (High Resolution Imaging Detector), 최대 작업 면적 1000 x 1000mm (Working Area) 등이 포함되어 있습니다. 강력한 제어 장치를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 모두에 대해 전력과 압력을 독립적으로 제어할 수 있으며, 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 옥스포드/랜서 1000 (OXFORD/LANCER 1000) 은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 MEMS 장치 (MEMS 장치) 를 포함하여 다양한 재료에 대해 엄격한 프로세스 제어 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 높은 프로세스 처리량 (process throughput) 으로 운영 환경에 적합하며, 운영 효율의 결과로 TCO (총소유비용) 가 낮습니다. 이 기계는 또한 다양한 인챔버 플라즈마 소스 (in-chamber plasma source) 와의 호환성을 위해 설계되었으며, 다양한 연구 및 산업 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 옥스퍼드 1000 (OXFORD 1000) 에 포함된 강력한 소프트웨어는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 쉽고 정확하게 프로그래밍할 수 있도록 사용하기 쉬운 그래픽 프로그래밍 언어를 제공합니다. 여기에는 압력, 온도, 에너지 소비의 실시간 모니터링과 같은 내장 안전 기능이 포함됩니다. 또한 소프트웨어 확장 키트 (Software Extension Kit) 를 사용하여 사용자 정의된 프로세스 시퀀스 또는 기타 고급 요구 사항을 지원할 수 있습니다. 전체적으로 랜서 1000 (LANCER 1000) 은 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 높은 생산성으로 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 수행 할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 기판 자료에 적합하며, 프로그램하기 쉬운 소프트웨어는 실험 또는 생산 응용 프로그램 (experimental/production application) 을 수행하는 과학자, 엔지니어, 기술자에게 이상적인 선택입니다.