판매용 중고 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293831458

OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 고급 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 정교한 플라즈마 에칭/애싱 장비입니다. 이 도구를 사용하면 에칭 매개변수 (etching parameters) 를 정확하게 제어하여 다양한 기판 재료에서 고품질의 균일 한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 기술과 혁신적인 기능을 갖춘 Plasmalab 800 Plus는 microelectronics, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), optoelectronics 및 나노 기술 분야의 연구 및 개발을위한 다재다능한 도구입니다. OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 향상된 프로세스 유연성과 제어를 제공하는 이중 주파수 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 시스템은 유도 (ICP) 및 정전 식 (CCP) 플라즈마 소스를 모두 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 처리 요구 사항에 맞게 플라즈마 특성을 조정할 수 있습니다. 이중 소스 구성은 광범위한 플라즈마 화학 물질 (Plasma Chemistry) 과 공정 조건 (Process Condition) 을 가능하게하여이 장치는 다양한 범위의 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합합니다. Plasmalab 800 Plus의 주요 강점 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능입니다. 이 시스템에는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있는 소프트웨어 (Software) 툴이 종합적으로 포함되어 있습니다. 여기에는 가스 흐름 속도, 압력, RF 전력, 바이어스 전압 및 온도 제어가 포함됩니다. 또한 자동 끝점 감지 (automatic endpoint detection) 및 제어 (control) 기능을 통해 각 프로세스 단계에서 정확한 에치 깊이 및 끝점 감지를 보장합니다. 옥스포드 인스트루먼트 플라즈말랩 800 플러스 (OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus) 는 고급 웨이퍼 처리 자산과 챔버 디자인 덕분에 높은 수준의 프로세스 균일성과 반복 성을 제공합니다. 이 모델에는 강력한 진공로드 잠금 (vacuum load lock) 메커니즘이 장착되어 있어 프로세스 품질이 저하되지 않고 빠르고 안정적인 웨이퍼 로딩 및 언로드를 보장합니다. 챔버 (chamber) 설계에는 고급 가스 분포 및 플라즈마 감금 기능이 포함되어 있으며, 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 에칭 결과를 얻는 데 도움이됩니다. Plasmalab 800 Plus는 RIE (Reactive Ion Etching), DRIE (Deep Reactive Ion Etching), PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 플라즈마 청소/재싱을 포함한 광범위한 에칭 프로세스를 지원합니다. 이 장비는 실리콘, 이산화규소, 질화규소, 금속, 중합체 및 화합물 반도체와 같은 다양한 재료를 식각 할 수 있습니다. 이 다재다능성으로 인해 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 종횡비가 높고 기능 크기가 큰 복잡한 미세 구조 및 장치를 제작하는 데 이상적인 도구입니다. Plasmalab 800 Plus 는 처리 기능 외에도, 사용자 친화적인 인터페이스를 제공하여 운영 및 유지 보수 작업을 간소화합니다. 직관적인 소프트웨어 제어 (Software Control) 및 모니터링 (Monitoring) 인터페이스를 통해 사용자는 최소한의 교육을 통해 프로세스를 설정하고 실행할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 문제 해결 및 예방 유지 관리를 위한 진단 툴이 내장되어 있어 가동 시간 (가동 시간) 과 생산성 (생산성) 을 극대화합니다. 전반적으로 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 요구 사항이 많은 반도체 연구 및 개발 어플리케이션을 위해 정밀 제어, 프로세스 유연성 및 고성능 기능을 제공하는 최첨단 플라즈마 에칭/애싱 머신입니다. 첨단 기술, 프로세스 제어 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스로 인해 microelectronics, MEMS, optoelectronics, nanotechnology 분야에서 일하는 학술 및 산업 사용자에게 유용한 툴입니다.