판매용 중고 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293586570

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에처/애셔
제조사
OXFORD INSTRUMENTS
모델
Plasmalab 800 Plus
ID: 293586570
Reactive Ion Etcher (RIE) ALCATEL ACT-600T Turbo pump controller Power: 208 VAC, 3 Phase.
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OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 광범위한 연구 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 강력한 플라즈마 에처 및 애셔입니다. 여러 가스 전달 시스템을 활용하여 습식 (wet) 및 건식 (dry etching) 모두에 적합한 유연하고 통제가 가능한 에칭 프로세스를 제공합니다. 최단 시간 내에 정확하고, 고품질의 결과를 지속적으로 제공할 수 있도록 설계되었습니다. Plasmalab 800 Plus는 Silicon, Glass, Ceramics, Silicon Carbide 및 Polymer 재료를 포함한 다양한 기판에 적합합니다. 이 시스템은 또한 금속 및 기타 물질 유형의 플라즈마 에칭을 지원합니다. 이 에처 (etcher) 는 인상적인 제어 및 확장성을 제공하여 다양한 에칭 요구사항에 대해 다양한 에칭 단계를 최적으로 관리할 수 있습니다. OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 다양한 고급 에칭 도구 (예: PSA (Plasma Source Actuator), DC 바이어스가있는 엔도 열 에칭 스테이션, 사전 프로그래밍 단계 이동, 타이밍 시퀀스의 미세 튜닝을위한 VCR 인터페이스, 원격 모니터링 용 인터페이스, PC-detching 시스템 (옵션). 더욱이, 이 시스템은 저압 및 고압 에칭 (etching) 기능을 통해 사용자에게 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어 할 수 있습니다. Plasmalab 800 Plus의 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스에는 사전 프로그래밍 된 Timer, 레시피 제어, 주기적 프로세스 제어 등 다양한 기능이 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 완벽하게 반복할 수 있으므로 효율성을 높여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus는 각 개별 도구의 온도 및 압력 측정과 Plasma Source Actuator (PSA) 의 피드백을 포함하여 광범위한 프로세스 모니터링을 제공합니다. 또한 Plasmalab 800 Plus (Plasmalab 800 Plus) 는 혁신적인 모듈식 설계를 통해 추가 하드웨어 업그레이드를 통해 기능을 확장할 수 있습니다. 궁극적으로 옥스포드 인스트루먼트 (OXFORD INSTRUMENTS) Plasmalab 800 Plus는 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 쉽게 조정할 수있는 최첨단 에칭 솔루션을 제공합니다.
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