판매용 중고 OXFORD EDS Detector #293808969
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에처 (etcher) 또는 애셔 (asher) 라고도하는 옥스포드 EDS 디텍터 (Oxford EDS Detector) 는 다양한 재료의 표면 수정 및 분석을 위해 재료 과학 및 반도체 산업에 사용되는 정교한 도구입니다. 이 장치는 마이크로 일렉트로닉스, MEMS 장치 및 기타 나노 기술 응용 프로그램의 제작 과정에서 중요합니다. EDS 검출기 (EDS Detector) 의 주요 기능은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 이라는 프로세스를 통해 기판 표면에서 물질을 제거하는 것으로, 반응성 가스 또는 플라즈마에 물질의 제어 된 노출이 포함됩니다. 옥스포드 EDS 검출기 (OXFORD EDS Detector) 는 재료의 정확하고 통제 된 에칭 또는 재싱을 달성하기 위해 함께 작동하는 몇 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성 요소에는 가스 전달 장비, 플라즈마 소스, RF (radiofrequency) 전원 공급 장치, 온도 조절 시스템 및 진공 챔버가 포함됩니다. "가스 '전달 장치 는 산소," 아르곤' 또는 "플루오린 '과 같은 여러 가지" 가스' 를 공급 하여 가공 하는 물질 과 함께 원하는 화학 반응 을 일으킨다. "플라즈마 '원 은" 가스' 와 상호 작용 하는 "플라즈마 '와 물질 표면 을 생성 하여" 에칭' 혹은 "애싱 '으로 인도 한다. RF 전원 공급 장치는 플라즈마 방전에 필요한 에너지를 제공합니다. 온도 조절 장치 (temperature control machine) 는 기판의 온도를 원하는 수준으로 유지하여 균일 한 처리를 보장합니다. EDS Detector 의 주요 특징 중 하나 는 유전체, 반도체, 금속, 중합체, 유기물 등 을 포함 하여 광범위 한 물질 을 처리 하는 데 있어서 다재다능 하다. 이러한 유연성은 다른 가스와 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 선택하여 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 특정 재료 특성 및 원하는 결과에 맞게 조정하는 기능을 통해 달성됩니다. 또한, 옥스포드 EDS 검출기 (OXFORD EDS Detector) 는 처리 속도가 매우 정확하고 반복 가능하여 재료 제거 속도와 선택성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 일반적으로 EDS 검출기 (EDS Detector) 의 작동은 기판을 진공 실로 적재하고 챔버를 대피시켜 저압 환경을 만드는 것부터 시작하여 여러 단계로 구성됩니다. 일단 원하는 진공 수치 가 달성 되면, "가스 '전달 도구 를 사용 하여 공정" 가스' 를 약실 에 도입 하고, RF 전원 공급 장치 를 활성화 하여 "플라즈마 '방전 을 한다. "플라즈마 '는" 가스' 와 물질 표면 과 상호 작용 하여 물질 제거 를 초래 하는 화학 반응 을 일으킨다. 온도 조절 에셋 (temperate control asset) 은 기판이 프로세스 전체에서 원하는 온도에 유지되도록 합니다. 옥스포드 EDS 검출기 (OXFORD EDS Detector) 는 더 높은 정밀도, 균일성 향상, 기판 손상 감소 등 전통적인 에칭 및 애싱 기술에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. EDS Detector 는 가스 구성, 압력, 전력, 온도 등 프로세스 매개 변수를 신중하게 제어함으로써 다양한 애플리케이션에 대해 높은 수준의 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 효과를 얻을 수 있습니다. 또한, 옥스포드 EDS 검출기 (OXFORD EDS Detector) 에는 고급 소프트웨어 및 제어 시스템이 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링 및 조정하여 성능과 효율성을 더욱 향상시킵니다. 전반적으로, EDS Detector는 반도체 및 재료 과학 산업의 재료 처리 및 분석을위한 강력한 도구입니다. 첨단 기능, 정밀성, 다재다능성은 연구 및 개발 활동을위한 필수 도구, 그리고 통제 된 재료 제거 (controlled material removal) 및 표면 수정 (surface modification) 을 요구하는 생산 프로세스가되었습니다. 세련된 디자인과 고급 기능을 갖춘 옥스포드 에즈 디텍터 (OXFORD EDS Detector) 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기술이 크게 발전하여 연구자와 엔지니어가 광범위한 응용 프로그램에 대해 정확하고 통제 된 재료 처리를 달성 할 수 있도록 지원합니다.
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