판매용 중고 OXFORD 90 Plus #9060476

제조사
OXFORD
모델
90 Plus
ID: 9060476
웨이퍼 크기: 2"-8"
빈티지: 1997
RIE System, 2"-8" Load lock and main process chamber (6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2) PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber) PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock) LEYBOLD Mechanical pumps PC & Monitor 1997 vintage.
OXFORD 90 Plus는 나노 구조 조정 및 직접 쓰기 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 금속 및 비금속 기판의 초미세 에칭을 위해 매우 높은 수준의 정확성과 정밀도를 달성하도록 설계되었습니다. MEMS 구성, microfluidics, 고성능 PCB 등의 애플리케이션에 적합한 몇 가지 고유한 기능을 갖추고 있습니다. 90 Plus는 최첨단 펄스 제너레이터 (pulse generator) 와 디지털 전원 제어 장치 (power control unit) 를 사용하여 매우 정확하고 정확한 에칭을 보장합니다. 이 모드는 LID (Laser Induced Direct Etching) 및 OHE (Optically Assisted Etching) 의 두 가지 일반적인 모드로 작동하도록 설계되었으며, 폴리머, 반도체 및 유전체와 같은 비금속 물질뿐만 아니라 금속을 가져올 수 있습니다. OHE 모드는 기존의 에칭 기법과 비교하여 상당히 높은 수준의 정확도 및 반복 성을 제공합니다. 옥스포드 90 플러스 (OXFORD 90 Plus) 의 핵심은 직접 쓰기 레이저 에칭 시스템이며, UV 레이저를 사용하여 패턴을 기판에 직접 에칭합니다. "레이저 '의 초점 은 매우 작으며" 시스템' 은 1 내지 3 "나노미터 '까지 정밀도 를 제공 한다. 이 수준의 정확도는 금속 및 일부 비금속 재료에 나노 스케일 구조를 만드는 데 이상적입니다. 90 Plus에는 유연성과 사용자 친화성을 높이는 몇 가지 다른 기능도 있습니다. 모듈식 디자인, 4축 스캔 기능, 처리량 향상을 위한 Wafer 처리 시스템 (내장) 을 제공합니다. 또한 전체 컴퓨터 제어 (full computer control) 기능을 통해 사용자는 사용자 정의 에칭 패턴을 빠르고 쉽게 만들고 원격으로 프로세스 설정을 관리할 수 있습니다. 옥스포드 90 플러스 (OXFORD 90 Plus) 는 다양한 에칭 애플리케이션에서 광범위한 테스트 및 검증을 거쳤으며, 다양한 마이크로 제작 작업에 대한 안정적이고 다양한 선택이었습니다. 매우 정확한 에칭 및 정확한 웨이퍼 처리 기능으로 microfluidics, MEMS 및 고성능 PCB에 이상적인 선택입니다. 모듈식 설계 및 컴퓨터 제어 기능으로 처리량이 많은 생산 프로세스에 적합하며, 레이저 중심 정밀 에칭 (precision etching) 은 나노 스케일 에칭 어플리케이션에 적합합니다.
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