판매용 중고 OXFORD 80 #9153430

제조사
OXFORD
모델
80
ID: 9153430
Reactive ion etcher Open design ACG 5xl RF Generator Pressure controller: MKS 600 Series 2-Stage vacuum  pump Inbuilt control system R3 Plasma cleaner Lark sequencer 500 Generator (2) Gas inputs (2) Shelves: 12.75 x 12.75" (4) MFC Gas control systems Voltage: 208V Available: Turbo pump, MFC controls.
OXFORD 80은 실험실에서 사용하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 게이트, 손상 구조, 접촉 구멍, 도핑 표면, 산화물 층 등 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램이 가능합니다. 기계는 다재다능하여 다양한 기판 (기판) 과 재료 (재료) 에 적합합니다. 80 etcher/asher는 완전히 자동화되어 사용자의 기술 수준에 관계없이 일관된 결과를 제공합니다. 에칭/어싱 작업 유형 (etching/ashing task), 에칭 방향 (etching direction) 및 반복할 작업 횟수를 지정할 수 있습니다. 기계의 사용자 인터페이스는 매우 직관적이므로 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 옥스포드 80 에처/애셔 (OXFORD 80 etcher/asher) 는 실리콘 웨이퍼 또는 기타 미세 구조화 된 재료 층에서 에칭 및 애싱 절차를 실행할 수 있습니다. 단일 또는 다중 레이어를 모두 처리할 수 있으며, 저전압 바이어스 (low voltage bias) 및 다중 마스크 정렬 (multi-mask alignment) 등의 기능을 지원합니다. 또한, 입자가없는 가스 소스를 사용하여 기판의 오염 또는 손상을 최소화합니다. 80 etcher/asher는 신뢰성이 높으며 처리량이 높은 뛰어난 프로세스 재생성을 제공합니다. 고유한 노즐 디자인이 적용되었으며, 소음 감소 (noise reduction) 기능을 통합하여 실험실 환경에서 소음 오염을 최소화합니다. 기계의 유지 관리는 시각적 표시기 (Visual Indicator) 로 단순화되어 기술자에게 잠재적 문제를 경고하고 문제 해결을 위한 온보드 진단 (On-Board Diagnostics) 을 제공합니다. (PHP 3, PHP 4, PHP 4) 옥스포드 80 에처/애셔 (OXFORD 80 etcher/asher) 는 다양한 가스, 제어 가능한 가스 흐름 및 RF 전력 수준으로 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 또한 온도가 다른 여러 웨이퍼를 지원하므로 새로운 재료 또는 장치를 테스트하는 데 적합한 툴이 됩니다 (영문). 전반적으로 80 개의 etcher/asher는 에칭 및 애쉬 작업을위한 효율적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 이 "에너지 '는 여러 가지 기판 과 재료 에 적합 하며, 높은 처리량 으로 정확 한 처리 를 할 수 있다. 탁월한 프로세스 재생성, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 제공하여 모든 실험실에 적합한 옵션을 제공합니다.
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