판매용 중고 OXFORD 80 #13883

제조사
OXFORD
모델
80
ID: 13883
RIE.
옥스포드 80 (OXFORD 80) 은 반도체 장치 제조 산업을 위해 설계된 습식 에칭 공정 장비 (애셔라고도 함) 입니다. 에칭 머신, 배기 시스템, 펌프 및 컨트롤러의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 80 에칭 장치는 더 높은 정밀도와 강성으로 반도체 웨이퍼 (wafer) 및 기타 재료를 빠르고 효율적으로 처리하도록 설계되었습니다. "머신 '의 설계 와 구성 요소 는 높은 속도 와 반복성 을 지닌 뛰어난 성능 을 제공 한다. 고압 펌프 (high-pressure pump) 의 도움으로 작동하여 에칭 유체 (etching fluid) 의 균일 한 공급을 만들고 에칭 과정에서 발생하는 압력을 제어합니다. 고압 펌프는 에찬트의 일관된 공급과 압력을 허용합니다. 옥스포드 80 (OXFORD 80) 에칭 툴에는 에셋 작동을 제어하고 관리하는 내장 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 타이머 (timer) 와 온도 컨트롤러 (temperature controller) 를 포함하여 에칭 및 배기 프로세스를 조절하도록 설정할 수 있습니다. 컨트롤러는 에칭 매개변수 (etching parameter) 와 프로세스의 사전 프로그래밍을 허용하며, 각 에칭 프로세스와 관련된 매개변수를 저장, 추적하는 다양한 데이터 로깅 기능을 제공합니다. 80 기계는 효율적인 배기 모델을 가지고 있으며, 이는 에칭 과정에서 생성 된 먼지, 미립자, 가스, 연기의 축적을 줄이는 데 도움이됩니다. 여기에는 프로세스 챔버에서 미립자와 연기를 제거하는 필터 (filter) 와 스크러버 (scrubber) 가 포함되어 있어 챔버가 깨끗하고 먼지가 없도록 도와줍니다. 옥스포드 80 (OXFORD 80) 에칭 (eching) 장비에는 유해 화학 물질에 대한 우발적 노출로부터 보호하기 위해 수동화 챔버 (passivation chamber) 와 온도가 위험한 수준에 도달하지 못하도록 돕는 온도 조절 시스템 (temperature control system) 을 포함하여 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한, 모든 컴포넌트 (component) 는 에칭 프로세스 중 모든 잠재적 스파크, 화재 또는 폭발로부터 컴포넌트 자체에 대한 손상 위험을 줄이기 위해 설계되었습니다. 결론적으로, 80 에칭 장치는 반도체 산업을 위해 설계된 고효율, 신뢰성, 다재다능한 기계입니다. 고속, 반복 가능한 에칭 및 배기 프로세스, 온도 조절, 데이터 로깅 기능, 안전 기능 등의 기능을 통해 모든 반도체 장치 제작에 이상적인 선택이 됩니다.
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