판매용 중고 OXFORD 133 ICP 380 #9375017

OXFORD 133 ICP 380은 회로, 마스크 및 포토 마스크 생산을위한 고급, 최첨단, 건식 및 애셔 장비입니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 광전자 (photonics), 생명공학 (biotechnology), 마이크로패브레이션 (microfabrication) 과 같은 다양한 반도체 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 133 ICP 380은 ICP (Impedance Controlled Process) 기술을 통합하여 더 높은 처리량과 수율을 위해 우수한 에치 속도, 정밀도 및 정확도를 달성 할 수 있습니다. 올인원 시스템은 강력한 에칭 챔버, 정밀 레이저 광학, 고속 로봇 웨이퍼 처리, 선명한 롤러 및 나이프, 정밀 등록 및 위치 지정을위한 지능형 비전 유닛을 갖추고 있습니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었으며 MEMS, 바이오 MEMS, 나노 MEMS 등 다양한 응용 프로그램에서 쉽게 사용할 수 있습니다. 에치 속도, 레이어 두께, 깊이 제어, 서피스 마무리 등 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. OXFORD 133 ICP 380에는 최적의 제품 수율 및 반복 성을 지원하는 고급 ICP 냉각 도구가 있습니다. 또한, 자산에는 에치 레이트 (etch-rate) 를 안정화하고 오염 물질을 제어하여 우수한 품질의 결과를 낼 수있는 내장 화학 정화기 (chemical purifier) 가 장착되어 있습니다. 또한, 통합된 컴퓨터 제어 프로세스 모니터링 모델을 통해 실시간 데이터 입수를 통해 제품 결함을 최소화할 수 있습니다. 133 ICP 380은 가장 까다로운 어플리케이션에서도 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 높은 정확성, 반복성, 일관성을 제공하므로 높은 수준의 신뢰성, 품질로 구성요소를 정확하게 제조할 수 있습니다. 또한, 직관적이고, 사용자 친화적 인 인터페이스는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 필요한 설정 및 조정을 단순화합니다. OXFORD 133 ICP 380은 오늘날의 첨단 전자 시장에 고수율, 고해상도 및 저렴한 솔루션을 제공합니다. 소형 발자국과 저렴한 비용을 갖춘 마이크로 일렉트로닉 마이크로 장치 (micro-devices) 및 컴포넌트 (component) 의 대용량 생산에 이상적인 장비입니다. 또한 지능형 비전 시스템 (Intelligent Vision System) 은 안정적인 포지셔닝 및 반복 처리 기능을 통해 높은 수익률과 일관된 품질을 제공합니다.