판매용 중고 OXFORD 100 + #9139601

OXFORD 100 +
제조사
OXFORD
모델
100 +
ID: 9139601
웨이퍼 크기: 6"
RIE system, 6".
옥스포드 100 + (OXFORD 100 +) 은 다양한 가스에서 증기 위상 에칭 및 재싱이 필요한 일반 전자 응용 분야를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 100 + 는 세라믹 가열 요소와 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 사용하여 챔버 전체에 일관된 온도 및 균일 한 가스 분포를 제공합니다. 정밀한 흐름 제어 (flow-control) 방식과 결합된 정밀 온도 제어는 에치 또는 강착 매개변수의 최고 수준의 제어를 가능하게합니다. 작은 설치 공간으로, OXFORD 100 + 는 하이엔드 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션을 위한 컴팩트한 솔루션을 제공합니다. 100 개 이상의 디자인을 통해 전자 부품 및 재료의 간단한 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 옥스포드 100 + 의 챔버 (chamber) 는 반응성 물질의 고품질 수동화를 보장하는 석영으로 구성됩니다. 석영 튜브 (quartz tube) 는 기판의 크기나 복잡성에 관계없이 신뢰할 수있는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 제공하기 위해 설계되었습니다. 100 + 는 또한 방의 중앙에 Teflon 절연 세라믹 요소를 사용하여 가열합니다. 히터는 외부 전원으로 구동되며 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 위해 일관된 온도를 제공합니다. 또한 OXFORD 100 + 는 에칭 및 애싱 프로세스의 정확성을 보장하기 위해 흐름 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 각각 가스 소스와 챔버에 연결하는 LFC (Low Flow Controller) 및 CFC (Constant Flow Controller) 어셈블리로 구성됩니다. LFC는 가스의 정확하고 일관된 계량을 허용하는 반면, CFC는 일관된 내부 챔버 압력 (internal chamber pressure) 을 유지합니다. 추가 제어로서, 100 + 는 유동 제어 밸브와 함께 사용될 수 있으며, 이는 가스의 들어오고 나가는 흐름을 제어 할 수 있습니다. OXFORD 100 + 는 다양한 유형의 전자 프로젝트를위한 효과적인 에칭 및 애싱 솔루션입니다. 석영 튜브 구성 및 Teflon 절연 세라믹 요소는 일관된 온도와 안정적인 에칭 또는 재싱을 제공합니다. 이 장치의 정확성은 정밀하고 특이한 가스 전달 및 챔버 압력 유지 (chamber pressure maintenance) 를 보장하는 흐름 제어 기계에 의해 더욱 향상됩니다. 고급 에칭과 재싱에 관해서는 100 + 가 이상적인 선택입니다.
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