판매용 중고 OXFORD 100 #293824960

제조사
OXFORD
모델
100
ID: 293824960
웨이퍼 크기: 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″
빈티지: 2013
Reactive Ion Etcher (RIE), 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″ Plasma source: 13.56 MHz RF, 0–600 W Process gases: Cl₂: 0–100 sccm BCl₃: 0–100 sccm CH₄: 0–50 sccm Ar: 0–100 sccm NH₃: 0–100 sccm CHF₃: 0–200 sccm N₂O: 0–200 sccm Materials: GaAs, GaN, Si, SiC Wafer thickness: 0.4 – 1.5 mm Etch rate: GaAs ≥ 10 nm/min RF power supply: HiLight 136+, 600 W, 13.56 MHz APC pressure control range: 1 – 60 mTorr ALCATEL ATH400M Process chamber vacuum pump ALCATEL ATP150 Transfer chamber vacuum pump Chamber temperature range: Room temperature - 70°C Gas cabinet Control system Chiller 2013 vintage.
옥스포드 100 + (OXFORD 100 +) 은 완전한 맞춤형, 고품질 에칭 제품 생산을 위해 설계된 고효율 상용 등급 에칭 및 제조 시스템입니다. 시스템의 사용자 인터페이스는 간단하고 직관적이며, 빠르고 간편한 설정 (setup) 및 작동이 가능합니다. 100 + 는 중공업 등급 다이 롤러 메커니즘을 사용하여 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 최대 성능 및 일관성을 보장합니다. 다이 롤러 (Die Roller) 는 강력한 서보 모터 (Servo Motor) 로 구동되며 많은 워크로드를 처리하고 조용하고 원활한 작동이 가능합니다. 또한, 다이 롤러 (die roller) 에는 정밀 속도 및 정확도 제어가 가능한 인코더가 장착되어 있으며, 원하는 에칭 깊이에 도달하면 자동으로 중지됩니다. OXFORD 100 + 에는 고출력 레이저 에처도 있습니다. 이 "레이저 '는 복잡 한 무늬, 그라디언트, 텍스트 를 금속, 숲, 플라스틱, 세라믹 을 포함 한 여러 가지 재료 로 식각 할 수 있다. "레이저 '의" 빔' 밀도 와 출력 은 특정 한 재료 와 완성 된 제품 의 필요 에 따라 조정 될 수 있다. 이 시스템은 또한 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 제공하여 컴퓨터를 활용하는 동안 운영자의 안녕을 보장합니다. 다이 롤러 (Die Roller) 에는 전원 장애 시 비상 정지 (Emergency Stop) 메커니즘이 포함되어 있으며, 운영자와 에칭 중인 재료를 모두 보호하기 위해 설계된 추가 안전 (Safety) 기능이 있습니다. 레이저 에처에는 클래스 1 레이저 안전 쉴드 (Class 1 laser safety shield) 가 장착되어 운영자의 안전을 더욱 보장합니다. 100 + 는 생산성이 높고 신뢰할 수있는 제조 기계로 설계되었습니다. 광범위한 효율성과 유연성을 제공하는 옥스퍼드 100 + (OXFORD 100 +) 은 모든 에칭 및 제조 프로젝트를 위한 독보적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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