판매용 중고 OPTIGLOW ACE #9149592

OPTIGLOW ACE
제조사
OPTIGLOW
모델
ACE
ID: 9149592
Plasma system.
OPTIGLOW ACE chemical etcher/asher는 다양한 응용 프로그램에서 웨이퍼 및 기타 기판을 처리하기위한 고급적이고 고효율적인 도구입니다. 엑시머 (excimer) 또는 수은-아르곤 레이저 (mercury-argon laser) 를 사용하여 패턴 화 된 실리카 또는 석영을 웨이퍼 및 기타 기판으로 옮기는 독특한 능력을 가지고 있습니다. 6축 모션 컨트롤러 (6축 모션 컨트롤러) 가 장착되어 있어 정확하고 정확한 에칭 패턴 (빠른 속도와 효율성) 을 보장합니다. ACE는 더 높은 처리량, 향상된 균일성 및/또는 정밀 패턴화가 필요한 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계의 핵심 구성 요소는 전자기 트로프/탱크입니다. 이 "탱크 '는 한 번 에 수백 개 의" 웨이퍼' 를 지지 할 수 있으며 최대 의 내구성 을 위하여 구운 고품질 "스틸 '로 만들어진다. 이 장비에는 웨이퍼에 실시간 이미지를 제공하는 스캐너 (scanner) 가 포함되어 있어 정확하고 정확한 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 프로세스를 보장합니다. OPTIGLOW ACE는 IC, III-V 구성 요소, MEMS 및 웨이퍼 레벨 장치를 포함한 다양한 재료를 에칭 및/또는 애싱 할 수 있습니다. 유연한 설계를 통해 선/면적, 직사각형, 환형, 종파, 곡선, 원형 및 직사각형, 광학 안경, 중합체, 안경을 포함한 다양한 증착/에치 재료와 같은 다양한 패턴 모양에 사용할 수 있습니다. 또한 이온 임플란테이션, 이온화, 리소그래피, 물리적 증기 증착 (PVD), 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD), 확산, 에칭, 어닐링, 애쉬 및 포토 esist와 같은 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. ACE에는 장치가 원활하게 실행되도록 안전 시스템이 내장되어 있습니다. @ info: whatsthis 또한 예기치 않은 상황에서 자동화된 긴급 종료를 제공합니다 (영문). 이 장치는 Labview 기반 소프트웨어와 호환되며, 표준 및 원격 시스템에 통합될 수 있습니다. 이 "머신 '은 또한 기계 의 효율성 과 기능 을 향상 시키도록 설계 된, 매우 다양 한 고급" 액세서리' 와 특징 을 갖추고 있다. 여기에는 자동 자체 모니터링 도구, 모션 컨트롤러, 데이터 로깅 기능 등이 포함됩니다. 이 기능은 장치가 항상 최고 (peak) 성능으로 실행되고 있으며, 최상의 품질의 결과를 제공할 수 있습니다. 전반적으로 OPTIGLOW ACE (OPTIGLOW ACE) 는 다양한 응용 프로그램에서 웨이퍼 및 기타 기판을 처리하기위한 고급적이고 효율성이 높은 도구입니다. 독보적인 기능과 초고속 (초고속) 프로세싱을 통해 매우 정밀하고 빠른 속도로 다양한 프로젝트를 처리할 수 있습니다. 내장형 안전 장치 (Safety System) 는 사용자를 보호하고 안전하고 효율적인 운영을 보장하는 반면, 고급 기능으로 인해 가장 고급적이고 다양한 에칭/애싱 (Etching/Ashing) 머신 중 하나입니다.
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