판매용 중고 OCCLEPPO 650-97-P-150 #9003042

OCCLEPPO 650-97-P-150 etcher/asher는 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 완벽한 선택입니다. 이 기계는 높은 프로세스 반복성과 장기적인 신뢰성을 제공합니다. 2 단계 온도 조절 장비는 우수한 공정 온도 안정성을 보장하며, 이는 높은 수율을 달성하는 데 매우 중요합니다. 650-97-P-150 etcher/asher는 넓은 300 마이크로 라이터 공정 챔버를 특징으로하며, 직경이 최대 150mm 인 웨이퍼의 직접 에칭 및 재싱이 가능합니다. 챔버에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정에서 웨이퍼를 안전하고 정확하게 고정하고 운송하는 25 위치 로터리 엔드 이펙터가 장착되어 있습니다. 또한 웨이퍼 무결성을 손상시키지 않고 더 높은 에치 및 애쉬 레이트를 보장하는 VPP (Variabled Pressure Processing) 시스템을 갖추고 있습니다. OCCLEPPO 650-97-P-150 etcher/asher에는 웨이퍼 오염을 최소화하는 입자 여과 장치가 내장되어 있습니다. 공정 유연성을 강화하기 위해 통합 액체 가스 인젝터 (liquid gas injector) 및 고급 이중 온도 제어 시스템이 특징입니다. 또한 유도 가열기 (inductive heating machine) 를 사용하여 균일 한 웨이퍼 가열을 보장하고 프로세스 추적을 위해 아날로그 및 디지털 I/O를 사용하는 프로세스 모니터링 도구를 제공합니다. 안전 및 편의성을 강화하기 위해 650-97-P-150 etcher/asher에는 안전 인터 록, 누출 및 과압 잠금 회로, 격리 된 배기 통풍구 및 통합 화재 억제 자산이 포함됩니다. 또한 OCCLEPPO (OCCLEPO) 는 프로세스 설정이 용이한 10 단계 터치스크린 컨트롤러를 갖추고 있으며 모든 필수 매개변수가 LCD 디스플레이에서 명확하게 모니터링됩니다. OCCLEPPO 650-97-P-150 etcher/asher는 여러 소스 가스와 호환되며 다른 가스에 대해 쉽게 보정 할 수 있습니다. 컴팩트한 디자인으로, 프로세싱 라인에 통합하기에 적합합니다. OCLEPPO 는 뛰어난 빌드 품질과 안정적인 성능을 바탕으로 효율적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.