판매용 중고 NOVELLUS Vector #9379236

NOVELLUS Vector는 NOVELLUS Systems (NOVELLUS Systems) 가 다양한 재료를 에칭 및 재싱하기 위해 개발 한 매우 정밀한 에처/애셔입니다. 벡터는 서브 미크론 레벨 (서브 5nm) 에서 미세한 정밀 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. NOVELLUS 특허 스캐닝 전자 빔 (SEB) 기술을 사용하여 복잡한 피치 칩 생산에 필수적인 고품질, 파인 라인 에칭 및 애싱 (ashing) 에 필요한 매우 정확하게 집중된 전자 빔을 제공합니다. NOVELLUS Vector는 또한 단일 웨이퍼 로드 잠금 (single-wafer load lock), 내부 히트싱크 및 정확한 열 제어를 위한 외부 열 척을 갖추고 있습니다. 웨이퍼는 벡터 (Vector) 의로드 락 챔버 (load lock chamber) 에 적재되며 빔은 표면에 집중되어 있습니다. 고도로 정확한 스캐닝 패턴과 초고속 펄스 속도를 자랑하는 노벨러스 벡터 (NOVELLUS Vector) 는 대부분의 경쟁업체 솔루션보다 빠른 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 을 가능하게 하며 항상 최고 해상도와 품질을 제공합니다. 또한, Vector's SEB는 사용자가 높은 정확도와 균일성으로 웨이퍼에 에칭하기 위해 재료를 적용할 수 있도록 합니다. NOVELLUS Vector는 또한 다른 NOVELLUS 시스템과 원활하게 작동하여 높은 수준의 프로세스 자동화 및 통합을 지원합니다. 이 회사는 Vector 외에도 Ares Fast Copper Damascene Solutions, Evolution Dielectric Etching System 및 Production Eversharp 에칭/애싱 시스템도 제공합니다. 이러한 옵션은 다양한 유형의 재료에 대한 다양한 에칭/애싱 기술을 제공합니다.