판매용 중고 NOVELLUS Vector #9294444

NOVELLUS Vector는 화학 기계 연마 또는 CMP에 사용되는 업계 최고의 etcher/asher입니다. 일관되게 고품질 결과를 낳으며 다양한 etch 및 CMP 프로세스를 위해 설계되었습니다. 벡터 (Vector) 는 하드웨어와 소프트웨어의 고유한 조합을 사용하여 다양한 재료에 걸쳐 지속적으로 높은 에치 속도 (etch rate), 화학 선택성 (chemical selectivity) 및 표면 평면 (surface planarization) 을 제공합니다. NOVELLUS Vector는 에칭 및 CMP (chemical mechanical planarization) 프로세스를 자동화하도록 설계된 다재다능한 에처/애셔입니다. 이 시스템은 사용자의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 (modular) 시스템으로, 고급 반도체 제조 (advanced semiconductor manufacturing) 에 사용하도록 설계되었습니다. 벡터 (Vector) 는 많은 고급 설계 및 에칭 구성 요소를 갖추고 있어 정확성과 제어를 보장합니다. NOVELLUS Vector는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 를 사용하여 SiO2, 질화물 및 기타 관련 필름을 선택 기판에 입금합니다. 그런 다음이 증착 과정에는 etching 및 planarization 프로세스를 완료하기 위해 RIE (Reactive Ion Etching) 및 CMP (Chemical Mechanical Polishing) 기술이 뒤 따릅니다. 벡터 (Vector) 는 최대 500nm 두께의 에칭 및 플레너라이징 (planarizing) 재료를 사용할 수 있으며, 통합 플라즈마 소스와 에칭 기술의 최신 발전이 특징입니다. 또한 NOVELLUS 벡터 (NOVELLUS Vector) 는 고유한 소프트웨어 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 에칭 프로세스를 완전히 자동화할 수 있습니다. 따라서 사용자가 쉽게 설정을 조정하고 사용자 정의 에칭 작업 (customized etching job) 을 만들 수 있으며, 매개변수를 몇 번 조정해도 에치 (etch) 결과가 일관되게 유지됩니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 언어로 제작되었으며, 자습서와 온라인 지원을 포함합니다. 벡터 (Vector) 의 기술뿐만 아니라, 최고의 안정성과 성능을 제공하는 정교한 챔버 (chamber) 설계 및 제작도 갖추고 있습니다. 챔버 컴포넌트는 CMP 및 에칭 프로세스를 모두 수용하여 전체 에칭 (etching) 및 평면 (planarization) 프로세스 전반에 걸쳐 정확성과 정밀도를 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector는 최고의 품질과 일관된 결과를 제공하도록 설계된 업계 최고의 etcher/asher입니다. 첨단 하드웨어/소프트웨어 기술과 종합적인 챔버 (chamber) 설계 및 제작을 통해 안정성과 성능을 보장합니다. 벡터 (Vector) 는 모든 규모의 산업에 적합하며 모든 에칭 (etching) 및 평면 화 (planarization) 요구에 이상적인 선택입니다.