판매용 중고 NOVELLUS Vector #9262780

NOVELLUS Vector는 기능 크기, 깊이, 균일성이 뛰어난 반도체 장치의 생산을 가능하게하도록 설계된 etcher/asher입니다. 특히 DRAM 백엔드 상호 연결, Contact/via 어레이, PWB 및 flip-chip 기판과 같은 초 미세 피치 제품을 생산하는 데 적합합니다. 벡터는 정확한 마스크 배치 기능을 갖춘 높은 처리량 장비입니다. 고성능 스캔 테이블과 고급 ICP 에치 소스를 기반으로합니다. 이 설정을 사용하면 에치 (etch) 프로세스를 정확하게 조정하여 매우 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 이미징 (advanced imaging) 및 도량형 도구 (metrology tools) 도 포함되어 있어 파괴적이지 않은 프로세스 제어가 가능합니다. NOVELLUS Vector의 확장 된 작업 범위 (extended working envelope) 는 모든 크기와 형상의 기능을 높은 정확도로 에칭할 수 있도록 합니다. 벡터는 에칭 전에 유연한 PECVD/OCD 산화물 코팅을 사용합니다. 이 코팅 (coating) 은 뛰어난 결함 제어를 제공하여 공정 (process) 을 극대화하면서 가장 어려운 기판에서도 뛰어난 적합성을 보장합니다. NOVELLUS Vector는 또한 듀얼 레이어 기능과 블라인드 비아를 통해 에칭하는 데 매우 효율적입니다. 이 Sysem은 스루 홀 (through-holes), 접촉 (contact) 및 기타 피쳐 유형을 특출한 깊이 균일성과 미세 선 해상도로 가져올 수 있습니다. 벡터의 고급 프로세스 제어는 뛰어난 반복성과 낮은 결함을 보장합니다. 시스템의 고급 프로세스 모니터링 및 제어 (Advanced Process Monitoring and Control) 기능은 주기 시간을 대폭 단축하고 에치 (etch) 프로세스를 정확한 사양에 맞게 유지합니다. 이로 인해 수율이 향상되고 스크랩 속도가 최소화됩니다. 이 장치에는 고급 결함 모니터링 (Advanced Defect Monitoring) 및 제어 (Control) 기능이 제공되어 기존 식각기에 비해 뛰어난 결함 감지 기능을 제공합니다. 무엇보다도 NOVELLUS Vector는 탁월한 프로세스 제어 기능을 갖춘 뛰어난 etcher/asher입니다. 이 기계는 사이클 시간을 대폭 줄여 주며, 일관된 깊이 추정치와 최소한의 가장자리 거칠기 (edge roughness) 로 초미세 피치 (pitch) 제품을 쉽게 에칭할 수 있습니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 도량형 (Metrology) 도구는 스크랩 속도를 최소화하면서 최고 품질의 제품을 생산합니다.