판매용 중고 NOVELLUS Vector #9195888

NOVELLUS Vector는 고정밀 에처/애셔로, 반도체 재료의 웨이퍼 레벨 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. "플라즈마 '와 열" 에칭' 과정 에 모두 사용 할 수 있는 고도 의 장비 이다. 벡터 (Vector) 는 박막 (Thin Film) 에서 매우 작고 정확하게 모양의 패턴을 제작할 수 있지만 유연한 확장성과 처리량을 제공합니다. 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스를 위한 유연한 플랫폼을 제공합니다. NOVELLUS Vector의 고급 하드웨어, 소프트웨어 및 광학 기술은 고성능 애싱, 에칭 및 청소를 제공합니다. TFAM (Thin Film Ashing Module) 은 고해상도, 저에너지 및 저온 ashing과 같은 특수 기능이 필요한 특정 응용 프로그램을 위해 설계된 진공 실입니다. Vector의 메인프레임 챔버 (Mainframe Chamber) 는 유연성이 극대화된 견고하고 내구성이 뛰어난 열 에치 프로세스를 제공합니다. NOVELLUS Vector의 고해상도 마스크 정렬 (Mask Alignment) 시스템은 챔버 내에서 제품 및 마스크를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 벡터는 또한 에치 및 애셔 프로세스의 고급 자동화를 제공합니다. 챔버 (chamber) 조건, 제품 특성 및 프로세스 매개변수를 자동으로 감지하여 내장된 반복 기능을 제공합니다. NOVELLUS Vector의 소프트웨어에는 강력한 GUI (Graphic User Interface) 가 포함되어 있어 원격 작업, 데이터 수집 및 진단을 위한 사용이 간편한 플랫폼을 제공합니다. Vector의 다중 카세트 로딩 장치는 처리량을 확장하고 운영 비용을 절감합니다. VMS (Vacuum Management Machine) 는 입자 수준을 제어하고 에치/애싱 프로세스에 더 높은 성능을 제공합니다. 또한 NOVELLUS Vector는 직관적이고 사용자 친화적이며 웨이퍼 손상을 줄이기위한 향상된 로드 잠금 도구를 갖추고 있습니다. 벡터의 플라즈마 에치 및 애셔 옵션은 낮은 주기 시간으로 일관되게 고성능 기능을 제공합니다. 또한 NOVELLUS Vector는 저에너지 원으로 환경 친화적 인 처리 분위기를 보장합니다. 전반적으로 Vector는 매우 다양한 에치/애셔 (etch/asher) 로, 고밀도 기능, 뛰어난 확장성, 까다로운 웨이퍼 레벨 프로세스를 위한 높은 처리량을 제공합니다.