판매용 중고 NOVELLUS Vector #9167159

NOVELLUS Vector는 정밀 에칭, 애싱 및 재료 표면 제거 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 벡터는 두 개의 장비 플랫폼 (에칭 장비 및 애싱 시스템) 을 하나의 도구로 결합하여 Si, GaAs, quartz, glass 등의 재료를 단일 단계 결과로 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Vector는 또한 고급 에칭 기술을 사용하여 정밀도 및 제어 수준을 높입니다. 벡터는 종횡비가 높고, 단단한 공차 패턴 반복성, 높은 에치 (etch) 선택성을 갖는 에칭 프로파일에 이상적입니다. 4, "6" 및 8 "을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Vector (NOVELLUS Vector) 에는 마이크로 머신, 마이크로 피케이션, 집적 회로 제작, 금속 및 유전체의 증착/에칭과 같은 고급 패턴 응용 분야에 적합한 기능도 있습니다. Vector는 DCB (ImpledCathodne Beam) 기술을 사용하여 높은 에치 속도와 최적의 재료 선택성을 보장합니다. DCB 기술은 또한 정확하고 균일하며 반복 가능한 패턴 프로파일을 보장합니다. NOVELLUS Vector 사용자는 etch 프로세스 매개변수와 프로세스 흐름을 조정하여 다른 etch 컴포넌트와 함께 작동하는 균일 한 피쳐를 생성할 수 있습니다. 벡터 (Vector) 는 부식 및 유해 물질을 함유하고 격리시키는 차폐 된 화학 전달 장치 (shielded chemical delivery unit) 와 유전체 및 금속 에칭 재료를위한 안전한 환경 (secure environment) 과 같은 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. 기계 에는 공정 "챔버 '와" 웨이퍼' 를 보호 하기 위한 "레이저 '냉각 도구 도 들어 있다. NOVELLUS Vector는 고급 제어, 반복 가능성 및 정밀도를 갖춘 응용 프로그램을 에칭하는 데 이상적인 도구입니다. 안정성이 높아 유지 보수를 최소화하고 프로세스 결과를 일관되게 생성합니다. 안정적인 프로세스 안정성으로 인해 처리량 및 비용 절감이 증가합니다. 또한 Vector 는 독보적인 유연성과 활용성을 조화시켜 프로세스 매개변수를 최적화하고 프로세스 흐름 (flow) 을 최적화하여 요구 사항을 충족할 수 있습니다.