판매용 중고 NOVELLUS Vector #9149328

노벨 러스 벡터 (NOVELLUS Vector) 는 오늘날 반도체 시장의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 다양한 모델 (크기, 유형, 칩, 보드에 맞게 구성 가능) 을 제공합니다. 최신 기술을 사용하여 대형 기판에서 빠른 주기 시간, 고수율, 일관된 에치 프로파일, 균일성을 달성합니다. 벡터 에처는 구리, 알루미늄, 실리콘 산화물, 강철, 니켈 및 알루미늄을 포함한 많은 기질의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 에치 속도 (etch rate) 와 균일성 (unifority) 을 갖추고 있으며, 특히 높은 정밀도, 반복성 또는 미세한 기능 정의가 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. NOVELLUS Vector 에처는 높은 처리량을 달성하기 위해 리에 (RIE) 및 플라즈마 강화 화학 에칭 (PECE) 의 조합을 사용합니다. 첨단 플라즈마 소스 (state-of-the-art plasma source) 는 챔버에 공급 된 반응 가스를 이온화하는 데 사용되며, PECE 기술은 에처의 작동 유연성을 더합니다. 고품질 프로세스 결과를 제공하고 처리 시간을 단축하여 벡터 에처 (Vector etcher) 를 동급 최고 속도로 끌어올립니다. 사용 가능한 매개 변수와 시스템 구성성의 범위에서, NOVELLUS Vector etcher는 이길 수 없습니다. 높은 온도 처리 (high-temper processing) 와 낮은 온도 처리 (low-tempering) 를 모두 제공하며, etch 시간 및 기타 제어 매개변수에 대한 프로세스 유연성을 제공하여 사용자가 특정 애플리케이션에 대한 프로세스를 최적화할 수 있도록 제어할 수 있습니다. 또한, Vector etcher 기능은 고급 프로세스 제어를 통해 사용자가 기판 에칭 및 에치 속도를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. NOVELLUS Vector etchers는 독점적 인 "OptiVect" 에치 프로세스를 통합하여 뛰어난 반복성과 기능 정의를 달성합니다. RF (Computer-controlled Radio Frequency) 전원은 여러 주파수 범위를 정확하고 다양하게 제어하여 가능한 가장 높은 공정 균일성을 제공합니다. 요약하자면, Vector etchers는 업계 최고의 성능 표준을 제공합니다. 최첨단 기술을 활용하고 강력한 프로세스 제어 기능을 통합함으로써, NOVELLUS Vector etchers는 빠른 처리 시간을 뛰어난 기능 정의와 균일성을 결합합니다. 그들은 정확성과 균일성이 필요한 모든 프로세스에 이상적인 선택입니다.