판매용 중고 NOVELLUS Vector Sola #9285851

NOVELLUS Vector Sola는 고정밀 에칭, 애싱 및 증기 위상 증착 (PVD) 응용 프로그램을위한 고급 도량형 및 고급 프로세스 모듈을 가능하게하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 고급 프로세스 어플리케이션을 위한 고속, 고정밀, 비용 효율적인 솔루션으로, 패턴화 및 증착 요구 사항에 가장 적합한 솔루션을 고객에게 제공합니다. NOVELLUS Vector Sola에는 사용자 친화적 인 인터페이스, I-LID ™ 증착 장비 및 QuikLoad ™ 웨이퍼 처리 시스템을위한 16 인치 모니터가 장착되어 있어 증착 및 에칭 중에 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 정확하고 효율적인 웨이퍼 로드 및 언로드를 위한 고급 소프트웨어 알고리즘을 포함한 고정밀 배치 장치를 제공합니다. NOVELLUS Vector Sola는 에칭, 애싱 및 증착 시스템의 최신 기술을 사용하여 탁월한 성능을 제공합니다. 탁월한 에칭 성능을 위한 고급 RF/감마 소스, 애싱 응용 프로그램을위한 전용 1150 ° C 쿼츠 튜브 퍼노스, 프로세스 제어를 위한 독특한 QuikLoad ™ 웨이퍼 처리 머신이 장착되어 있습니다. 또한 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 독점 가스 전달 도구를 사용하여 빠른 열 프로세스를 위해 반응성 가스의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. NOVELLUS 벡터 솔라 (Novellus Vector Sola) 에는 에칭, 애싱 및 증착 프로세스 전반에 걸쳐 정확하고 정확한 분석을 가능하게하기 위해 다양한 고급 검출기 및 도량형 구성 요소가 포함되어 있습니다. QuickScans (TM) 반사계 및 QuikGuage (TM) 도량형 자산과 같은 다양한 광학 검출기가 정확하고 정확한 분석을 제공합니다. 균일 성, 효율성 및 정확성을 강화하기 위해 특화된 quenching 단계도 사용할 수 있습니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 정확하고 반복 가능한 유량을 제공하도록 설계된 정밀 질량 흐름 컨트롤러로 구성 가능한 가스 전달 제어를 제공합니다. 이 모델은 고압 터널링 (pressurized tunneling) 및 방향성 가스 전달 (directional gas delivery) 을 제공하여 원하는 필름 또는 레이어의 정밀 중단을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector Sola는 고급 기술, 정밀 도량형 및 공정 제어 시스템을 갖춘 고성능 etcher/asher로, 고객에게 에칭, 애싱 및 증착 응용 프로그램을위한 탁월한 선택을 제공합니다.