판매용 중고 NOVELLUS Vector Sola #293641465

NOVELLUS Vector Sola는 다양한 층의 반도체 장치를 에치 앤 애셔 (etcher/asher) 하는 데 사용되는 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 멀티 빔 레이저 (multi-beam laser) 를 사용하여 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 한 단계로 정확하게 결합하여 빠른 프로토 타이핑 및 반도체 생산을 가능하게합니다. 이 장치는 DLP (Digital Light Processing) 프로젝션 머신 (DLP) 을 기반으로하며, 다수의 렌즈 및 미러와 결합하여 레이저를 처리 영역으로 직접 연결합니다. DLP 모듈에는 260nm 파장의 고급 SLM (Spatial Light Modulator) 이 있으며 35nm까지 작은 크기의 기능을 처리 할 수 있습니다. 이것은 현재 세대 etchers/ashers의 최고 해상도입니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 또한 HPE (High Productivity Etch) 모드를 갖추고 있어 시중의 다른 시스템에 비해 처리 속도가 3 배까지 향상됩니다. 다른 독특한 기능으로는 연속 픽셀 사이의 시간이 거의 걸리지 않는 펄스 플라즈마 에칭을 제공하는 JetEtch 기술이 있습니다. 이것은 깊거나 넓은 참호를 빠르게 식각 할 수 있습니다. 이 도구에는 가스 흐름 변동으로부터 기판을 보호하는 Argon Plasma Protection (APP), 레이저 에너지 및 전력 안정성을 향상시키는 SEL (Self-optimizing Excimer Laser), 프로세스 정확도를 높이는 고급 Scan Stage Motion 기술과 같은 여러 가지 유리한 기능이 있습니다. NOVELLUS Vector Sola는 작업 및 기능 제어를위한 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 와 최적의 에칭 및 재싱을 위해 구성 가능한 매개변수를 갖추고 있습니다. 또한 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 진행을 볼 수 있습니다. 이는 정확한 프로세스 제어에 중요합니다. 또한 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 비용 효율에 최적화되어 습식 청소, 애쉬 프리 에치 (ash-before-etch) 및 스킵에치 (skip-etch) 와 같은 포스트 에치 클린업을 정확하게 수행 할 수 있습니다. 자산의 컴팩트한 크기는 모델 비용을 절감하고 자동 설치, 자동 전송 (autostering), 자동 전송 (autotransfer) 과 같은 반도체 생산 작업을 자동화하는 데 도움이됩니다. NOVELLUS Vector Sola는 정확한 제어, 고해상도, 높은 처리량으로 멀티 빔 레이저 에칭 및 재싱이 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 다양한 운영 프로세스의 요구 사항에 맞춰 쉽게 조정할 수 있는 다양한 구성 가능 (configurable) 매개변수를 갖춘 다용도 (versatiable) 장비다.