판매용 중고 NOVELLUS Vector Express #9203794

노벨러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 대용량 반도체 및 집적 회로 업계에서 비용 효율적이고 시간을 절약할 수 있도록 설계된 혁신적인 하이엔드 에칭 장비입니다. 벡터 프로세스 제어 (Vector Process Control) 를 활용하여 Vector Express 시스템은 검증된 NOVELLUS 플랫폼을 기반으로 구축되어 광범위한 etch 애플리케이션에서 빠르고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 시간당 최대 6,000 개의 웨이퍼 속도로 작동하며, 높은 반복성과 정밀도로 1 미크론 미만의 복잡한 기능을 에치 할 수 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 절대 균일성을 위해 설계되었으며, 수동 에칭 시스템에 비해 프로세스 제어를 강화하고, 제조 엔지니어가 매우 효율적인 에칭 프로세스를 신속하게 설정할 수 있습니다. 통합 장치에는 최대 4 개의 챔버를 제어 및 통합 할 수있는 SPM (Standard Process Module) 과 추가 챔버 및 프로세스 제어를 갖춘 CMR (Cluster Module Repetition) 이 제공됩니다. NOVELLUS Vector Express (Vector Express) 머신은 설치 공간이 작아 단단하고 자동화된 구성 (Fabrication) 린에 사용할 수 있는 반면, 통합 기능 세트와 확장성은 다양한 어플리케이션에서 고속 성능을 보장합니다. 이 에처는 바이어스, 전압, 압력, 온도에 대한 폐쇄 루프 제어를 제공하며, 정확하고 제어 된 에치 매개변수를 가능하게하여 최소한의 오류로 더 자세한 내용을 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 PAE (Photon-Activated Etching) 를 위해 설계되었습니다. PAE (Photon-Activated Etching) 는 특수 레이저 광 펄스를 사용하여 기존의 에처 프로세스보다 정확성과 해상도가 큰 재료를 에치하는 프로세스입니다. 또한 원격 및 자동 작업을위한 전용 PAV (Pattern Aging Valve) 기술을 포함하여 운영자의 개입없이 자동 시작 및 종료할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector Express는 최고의 프로세스 제어를 위해 하드웨어를 통합하여 최적의 에칭 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 업계에서 현재 사용 가능한 다른 많은 에칭 시스템과 비교할 때, 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 더 빠른 처리 속도를 제공하며, 대량 생산 작업에 탁월한 성능 및 비용 절감 효과를 제공합니다.