판매용 중고 NOVELLUS Vector Express #9203793

노벨 러스 벡터 익스프레스 (NOVELLUS Vector Express) 는 반도체 장치 제조의 고급 프로세스 유연성과 성능을 위해 설계된 고속 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 제품은 다양한 독점 기술을 결합하여 단일 프로세싱 챔버 (processing chamber) 에 광범위한 집적 회로 (IC) 를 만들 수 있습니다. 이 시스템은 탁월한 처리율, 관리 TCO 및 최적의 공간 효율성을 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 혁신적이고 독립적인 설계를 통해 최소한의 노력과 운영 중단으로 설치, 구축할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 사용됩니다. 애플리케이션의 복잡성에 따라 디바이스의 단일 레이어 (single layer) 또는 다중 단계 프로세싱의 다중 레이어 (multi-step processing) 를 가져올 수 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 클리닝 및 백 필링 (back filling) 작업에도 사용할 수 있습니다. 이 기계는 두 가지 주요 구성 요소 인 주 처리 실 (main processing chamber) 과 열 전달 챔버 (thermal-transfer chamber) 로 설계되었습니다. 후자는 에칭, 애싱 및 어닐링 프로세스를위한 라디칼을 생성하는 데 사용되는 미니 퍼니스입니다. Vector Express는 생산성을 극대화하기 위해 정교한 롤러 셔터 도어 (roller-shutter door) 를 사용하여 처리 주기를 중단하지 않고 신속하게 웨이퍼를 로드하고 언로드합니다. 또한 이 프로세서에는 편리한 터치스크린 액세스 기능 및 매개변수를 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 툴은 최대 8 개의 레시피를 저장할 수 있으므로 프로세스를 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. 일반적으로 사용되는 가스 성분 라이브러리도 통합되어 있으며, 이를 통해 사용자는 자주 사용되는 가스 혼합물을 신속하게 액세스 할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express는 저항성 및 유도 플라즈마 소스를 모두 갖추고 있으며, 에셋은 고정밀도, 고출력 에칭 및 재싱을 달성 할 수 있습니다. 또한 저주파 플라즈마를 사용하여 입자 생성을 줄이면서 뛰어난 에치 균일성을 보장합니다. 이 모델의 견고한 설계는 광범위한 프로세스 가스 (process gase) 와 연동하여 기존 운영 라인에 최적으로 통합할 수 있습니다. 마지막으로, Vector Express는 탁월한 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공하여 실시간 조정, 최적화된 처리 조건을 제공합니다. 요약하면, NOVELLUS Vector Express는 탁월한 처리 속도, 효율적인 공간 소비, 뛰어난 제어 기능 및 직관적 인 사용자 인터페이스를 제공하는 고급 etcher 및 asher입니다. 견고하고 혁신적인 디자인으로, 생산 능력을 극대화하려는 칩 (chip) 제조업체에게는 이상적인 선택입니다.