판매용 중고 NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313

NOVELLUS Vector Express AHMxT는 얕은 트렌치 격리 (STI) 와 같은 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 이중 챔버 에치/애셔 장비입니다. 최대 150nm (Fature Size) 의 와이어를 에칭/애싱하는 데 매우 효율적이고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 벡터 익스프레스 AHMxT (Vector Express AHMxT) 에는 두 개의 독립적으로 제어되는 모듈이 있으며, 동시 에치 및 애셔 프로세스와 유지 보수 및 청소를 위해 쉽게 액세스 할 수있는 챔버가 있습니다. NOVELLUS Vector Express AHMxT의 에치 챔버에는 5 ~ 150 nm 범위의 재료 레이어를 처리 할 수있는 고 처리량, 다중 주파수 플라즈마 발전기가 장착되어 있습니다. 챔버에 선택된 전구체가 장착 된 경우 ALD/CVD 유사 프로세스를 수행 할 수도 있습니다. 지능형 제어 논리 (Intelligent Control Logic) 를 사용하여 에친트 챔버 (Etchant Chamber) 는 매우 효율적이고 비용 효율적인 방식으로 매우 높은 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 벡터 익스프레스 AHMxT (Vector Express AHMxT) 의 애셔 챔버 (asher chamber) 는 소스 질량 분광기를 사용하여 프로세스 가스 및 기판 온도의 정확한 측정 및 개선 된 가스 혼합 기능을 제공합니다. 애셔 (asher) 는 매우 정확한 제어로 최대 150nm 크기의 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 STI (기판 적재) 및 다마신 처리 (damascene processing) 와 같은 응용 분야에서 쉽게 기판 적재 및 언로드를위한 웨이퍼 스테이지 로더가 장착되어 있습니다. NOVELLUS Vector Express AHMxT의 일반적인 응용 분야에는 얕은 트렌치 격리 (STI), 얕은 트렌치 격리 (STI), 접촉 구멍, 게이트 트렌치, 수직 및 수평 상호 연결 및 다마신 처리가 포함됩니다. 이 장치는 매우 높은 에치 레이트 (etch rate) 와 뛰어난 표면 균일성과 청결성을 생성 할 수 있습니다. 또한 Vector Express AHMxT는 뛰어난 흔들림 및 반복성을 제공하여 높은 수율과 일관된 장치 특성을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector Express AHMxT는 반도체 제조업체에 고급 장치 제작 및 처리 응용 프로그램을위한 고성능 에치/애셔 머신을 제공합니다. 이중 챔버 설계는 동시 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하며, 고급 플라즈마 제너레이터 및 소스 질량 분석기는 정확한 제어 및 뛰어난 반복성을 제공합니다. 또한 높은 처리 속도와 효율적인 처리 (processing) 를 통해 비용을 절감할 수 있습니다.