판매용 중고 NOVELLUS GAMMA XPR #9133009

NOVELLUS GAMMA XPR은 다양한 재료에 대한 정확한 다이 레벨 에칭 및 재시를 제공하는 에처/애셔입니다. 그것 은 "나노미터 '수준 까지 모든 종류 의 금속 을 가공 할 수 있는 정확도 와 속도 를 위하여 설계 되었다. 에칭/애싱 (etching/ashing) 도구를 정확하게 이동할 수 있도록 조정 가능한 캔틸레버드 빔이있는 수직 디자인이 특징입니다. 이 빔은 고터치 Z축 구동 선형 모터 (high-touch Z-axis driven linear motor) 에 부착되어 가공된 재료의 부드럽고 정밀하게 움직이고 크기를 조정합니다. 이 장비는 다양한 재료를 빠르고 효율적으로 에치 (etch) 하고 재 (ash) 할 수있는 독특한 최첨단 기술을 자랑합니다. 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 패턴 디자인과 최적의 기판 구성을 활용하여 최상의 성능을 제공합니다. 통합 레이저 스캐닝 시스템을 사용하면 패턴을 에칭/애싱 (etching/ashing) 표면으로 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 Substrate Process Monitor 는 프로세스 진행 상황에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. GAMMA XPR은 최대 2000 와트의 총 전력을 갖춘 고출력/고정밀 통합 에칭/애싱 장치를 갖추고 있습니다. 저온 (low temperature) 과 고온 (high temperature) 모두에서 광범위한 재료를 사용할 수 있습니다. 또한, 빠르고 효율적인 다이 레벨 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위해 각 축에 대해 최대 150mm/s의 이동을 갖는 고속 스트레이트 스루 (straight-through) 부품이 있습니다. NOVELLUS GAMMA XPR (NOVELLUS GAMMA XPR) 은 프로세스를 간소화하고 수동 데이터 입력이 필요 없는 포괄적인 사용자 친화적 애플리케이션/소프트웨어 제품군에서 지원됩니다. 포토마스크 (photomask) 나 부수장비 (부수장비), 종합적인 진단 기능 (diagnostic function) 등 다른 기계와의 직접 상호 작용을 가능하게 하는 통신 기능이 내장되어 있습니다. 마지막으로, GAMMA XPR은 엄격한 프로세스 제어 및 모니터링을 갖추고 있으며, 시간이 지남에 따라 정확하고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 전반적으로 NOVELLUS GAMMA XPR은 업계 최고의 에칭/애싱 머신으로, 다양한 재료를 정밀하고 빠르게 처리합니다. 첨단 기술과 제어 소프트웨어 (Control Software) 는 에칭/애싱 (eching/ashing) 프로세스에 적합한 툴로서 정밀 머시닝에 이상적인 제품입니다.