판매용 중고 NOVELLUS Gamma Express #9314671

NOVELLUS Gamma Express는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 최첨단 집적회로 제작, 의료· 공업제품 제작 등 다양한 용도로 재료를 정밀화 (precision-etch) 할 수 있다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 고압, 무화학적 에칭 프로세스를 사용하여 프로세스 제어, 높은 처리량 및 정밀도와 높은 수율을 향상시킬 수 있습니다. 이러한 유형의 에칭은 여러 개의 독립형 도구, 수동 오류 (manual error) 의 위험 감소, 귀중한 설치 공간 확보를 필요로 하지 않습니다. 이 장비는 높은 순도, 비활성 챔버 (inert chamber) 를 사용하여 작동하여 정확한 에칭 결과를 보장하는 최적의 에칭 환경을 제공합니다. 직관적이고 사용자 친화적인 설계로, 고급 자동화 기술이 적용되어 설치/운영이 쉽고 효율적입니다. NOVELLUS 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 온보드 제어 시스템으로 구동되어 다양한 에칭 매개변수를 프로그래밍 및 비교할 수 있습니다. 이 실시간 데이터를 사용하면 프로세스의 각 단계를 모니터링하고 수정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 추가 기능으로는 통합 PPC 진공 장치, 2 구역 드라이 에치 프로세스, 통합 프로세스 가스 조절기, 프로세스 클리닝 및 진단, 프로세스 제어 소프트웨어 등이 있습니다. 소프트웨어는 가스 압력, 유량, 에칭 시간, 온도 등 필요한 모든 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 감마 익스프레스 (Gamma Express) 는 정밀 에칭 기능 외에도 예측 가능성과 다재다능성을 제공합니다. 다중 패스 에칭 (multi-pass etching) 은 완전한 정확성과 완벽한 결과를 보장하는 반면, 프로세스 레시피는 다양한 유형의 응용 프로그램에 맞게 조정되고 최적화 될 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Gamma Express는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 매우 신뢰할 수있는 사용자 친화적 인 etcher/asher입니다. 직관적인 설계, 자동화 된 기능 및 고급 프로세스 제어 머신 (process control machine) 은 최첨단 IC 제작에서 의료 및 산업 제품에 이르기까지 정밀 에칭 애플리케이션에 적합합니다.